溅射离子泵
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溅射离子泵利用电场和磁场来电离气体分子。电离后的分子在电场的加速下，与固体目标表面发生碰撞。这种碰撞使分子嵌入表面，从而产生真空。该过程对去除惰性气体和反应性气体特别有效。
溅射离子泵能够实现低于10^-11 Torr的超高真空，非常适合精密实验和制造过程。由于没有机械活动部件，它们具有长寿命和低维护的特点。此外，由于不使用油，溅射离子泵提供了清洁无污染的真空环境。与其他真空泵相比，溅射离子泵具有更低的能耗和更高的能源效率。
