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溅射离子泵
PST 系列
PST-030CU/AU
アルバック
溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵，广泛应用于分析仪和加速器中。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件（acter元件）和优化磁场的技术，开发出了"acter泵"。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件（acter元件）和优化磁场的技术，开发出了"acter泵"。
特点
- 应用于极・超真空，已通过ISO标准，极限压力10-9 Pa测试 。
- 稀有气体排气增强型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。（与本公司相比）
- 在超高真空范围内实现高抽速。
- 在短时间内可以达到超高真空。
- 在超高真空范围内具有出色的启动特性。（超高真空范围内持续放电）
用途
- 加速器
- 电子显微镜
- 分析机器
规格
| Evacuation speed to 1 x 10-7(reproduced evacuation speed) |
|
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| Final pressure | 10-9Pa order | ||||
| Operation pressure | <8.0×10-3Pa(recommended value) (Maximum operation pressure 1×10-2Pa) *Using GST-07L controller |
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| Volume | 約6.7 X 10-4m3approx | ||||
| Number of pump elements | CX cell (x 1), AX cell (x 1) | ||||
| Connection flange model | UFC070 | ||||
| Applied voltage | DC+7.5kV | ||||
| Standard bake-out temperature | 250°C | ||||
| Weight | 約9.5KG approx | ||||
| External dimensions W×D×H | 103×183×187 mm |
