溅射离子泵

PST 系列

PST-050CU/AU

アルバック

溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵,广泛应用于分析仪和加速器中。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件(acter元件)和优化磁场的技术,开发出了"acter泵"。

特点

  • 应用于极・超真空,已通过ISO标准,极限压力10-9 Pa测试 。
  • 稀有气体排气增强型(AU型)的排气性能是氩气的两倍。(与本公司相比)
  • 在超高真空范围内实现高抽速。
  • 在短时间内可以达到超高真空。
  • 在超高真空范围内具有出色的启动特性。(超高真空范围内持续放电)

用途

  • 加速器
  • 电子显微镜
  • 分析机器

规格

Evacuation speed to 1x10-7Pa(reproduced evacuation speed)
N2: 0.045m3/s(CU・AU)
0.03m3/s(at 1x10-7Pa)
Final pressure 10-9Pa order
Operation pressure <8.0×10-3Pa(recommended value)
(Maximum operation pressure 1×10-2Pa)
*Using GST-07L controller
Volume 約1.37 X 10-3m3
Number of pump elements CX cell (x 1), AX cell (x 1)
Connection flange model UFC114
Applied voltage DC+7.5kV
Standard bake-out temperature 250°C
Weight 12.8 kg approx. (with heater)
External dimensions W×D×H 153×204×241 mm
Power required by heater unit Single-phase 200 V, 300 W approx.

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