溅射离子泵

PST 系列

PST-100CX/AX

アルバック

溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵,广泛应用于分析仪和加速器中。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件(acter元件)和优化磁场的技术,开发出了"acter泵"。

特点

  • 应用于极・超真空,已通过ISO标准,极限压力10-9 Pa测试 。
  • 稀有气体排气增强型(AU型)的排气性能是氩气的两倍。(与本公司相比)
  • 在超高真空范围内实现高抽速。
  • 在短时间内可以达到超高真空。
  • 在超高真空范围内具有出色的启动特性。(超高真空范围内持续放电)

用途

  • 加速器
  • 电子显微镜
  • 分析机器

规格

再生排气速度(1.0×10-7 Pa时)
N2: 0.10m3/s(CX・AX)
0.08m3/s(at 1x10-7Pa)
极限压力 10-9 Pa
动作圧力 <5.0×10-3Pa
*GST-07L-B:控制器使用时
内容积 3.3 X 10-3m3
元素数 2式
※可更换
法兰口径 UFC152
印加电压 DC+7.5kV
烘烤温度 250°C
质量 37Kg
外形尺寸 W×D×H 155×340×340 mm
加热器单元功率要求 単相200V 約320W

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