溅射离子泵
PST 系列
PST-100CX/AX
アルバック
溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵,广泛应用于分析仪和加速器中。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件(acter元件)和优化磁场的技术,开发出了"acter泵"。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件(acter元件)和优化磁场的技术,开发出了"acter泵"。
特点
- 应用于极・超真空,已通过ISO标准,极限压力10-9 Pa测试 。
- 稀有气体排气增强型(AU型)的排气性能是氩气的两倍。(与本公司相比)
- 在超高真空范围内实现高抽速。
- 在短时间内可以达到超高真空。
- 在超高真空范围内具有出色的启动特性。(超高真空范围内持续放电)
用途
- 加速器
- 电子显微镜
- 分析机器
规格
再生排气速度(1.0×10-7 Pa时) |
|
||||
极限压力 | 10-9 Pa | ||||
动作圧力 | <5.0×10-3Pa *GST-07L-B:控制器使用时 |
||||
内容积 | 3.3 X 10-3m3 | ||||
元素数 | 2式 ※可更换 |
||||
法兰口径 | UFC152 | ||||
印加电压 | DC+7.5kV | ||||
烘烤温度 | 250°C | ||||
质量 | 37Kg | ||||
外形尺寸 W×D×H | 155×340×340 mm | ||||
加热器单元功率要求 | 単相200V 約320W |