溅射离子泵

PST 系列

PST-110AU

アルバック

溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵,广泛应用于分析仪和加速器中。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件(acter元件)和优化磁场的技术,开发出了"acter泵"。

特点

  • 应用于极・超真空,已通过ISO标准,极限压力10-9 Pa测试 。
  • 稀有气体排气增强型(AU型)的排气性能是氩气的两倍。(与本公司相比)
  • 在超高真空范围内实现高抽速。
  • 在短时间内可以达到超高真空。
  • 在超高真空范围内具有出色的启动特性。(超高真空范围内持续放电)

用途

  • 加速器
  • 电子显微镜
  • 分析机器

规格

再生排气速度
(1.0×10-7 Pa时)

N2 0.06m3 /sec
※最大0.11m3 /sec
Ar -
极限压力 10-9Pa
动作圧力(*1) 推荐值 <4.5×10-3Pa
内容积 6.5×10-33
元素数 2式
※可更换
印加电压 DC+7.5kv
放电强度特性值 6.6A/Pa
法兰口径 UFC152
烘烤温度 250℃
加热器 无设定
质量 36.5kg
外形尺寸 W×D×H 171×387×293mm
使用环境 温度范围 5~40℃
湿度范围 85%以下(不结露)
泵固定螺栓穴尺寸 4点-M6
深15mm
推荐控制器 GST-07L-B

*1)GST-07L-B:控制器使用时

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