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溅射离子泵
PST 系列
PST-110AU
アルバック
溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵，广泛应用于分析仪和加速器中。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件（acter元件）和优化磁场的技术，开发出了"acter泵"。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件（acter元件）和优化磁场的技术，开发出了"acter泵"。
特点
- 应用于极・超真空，已通过ISO标准，极限压力10-9 Pa测试 。
- 稀有气体排气增强型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。（与本公司相比）
- 在超高真空范围内实现高抽速。
- 在短时间内可以达到超高真空。
- 在超高真空范围内具有出色的启动特性。（超高真空范围内持续放电）
用途
- 加速器
- 电子显微镜
- 分析机器
规格
|
再生排气速度 |
N2 | 0.06ｍ3 /sec ※最大0.11ｍ3 /sec |
| Ar | - | |
| 极限压力 | 10-9Pa | |
| 动作圧力(*1) | 推荐值 | ＜4.5×10-3Pa |
| 内容积 | 6.5×10-3ｍ3 | |
| 元素数 | 2式 ※可更换 |
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| 印加电压 | DC+7.5kv | |
| 放电强度特性值 | 6.6A/Pa | |
| 法兰口径 | UFC152 | |
| 烘烤温度 | 250℃ | |
| 加热器 | 无设定 | |
| 质量 | 36.5ｋｇ | |
| 外形尺寸 W×D×H | 171×387×293mm | |
| 使用环境 | 温度范围 | 5～40℃ |
| 湿度范围 | 85％以下（不结露） | |
| 泵固定螺栓穴尺寸 | 4点－M6 深15mm |
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| 推荐控制器 | GST-07L-B | |
*1）GST-07L-B：控制器使用时
