溅射离子泵
PST 系列
PST-200CXII/AXII
アルバック
溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵。
被广泛应用于分析仪和加速器中。ULVAC的acter溅射离子泵单个泵能够产生10-10Pa级的极·超高真空度。
ULVAC通过开发强化极·超高真空领域排气特性的新型元件(acter元件)和优化磁场的技术,开发出了"acter泵"。
特点
- 应用于极・超真空,已通过ISO标准,极限压力10-9 Pa测试 。
- 稀有气体排气增强型(AU型)的排气性能是氩气的两倍。(与本公司相比)
- 在超高真空范围内实现高抽速。
- 在短时间内可以达到超高真空。
- 在超高真空范围内具有出色的启动特性。(超高真空范围内持续放电)
用途
- 加速器
- 电子显微镜
- 分析机器
规格
Evacuation speed to(reproduced evacuation speed) 1×10-7Pa |
|
||||
Final pressure | 10-10Pa order | ||||
Operation pressure | <3.8×10-3Pa(recommended value) (Maximum operation pressure 1×10-3Pa) *Using GST-07L controller |
||||
Volume | 0.011m3 approx. | ||||
Number of pump elements | CX2 cells (x 2), AX2 cells (x 2) | ||||
Connection flange model | UFC203 | ||||
Applied voltage | DC+7.5kV | ||||
Standard bake-out temperature | 250°C | ||||
Weight | 65kg approx.(with heater, cover) | ||||
External dimensions W×D×H | 296×361×376 mm | ||||
Power required by heater unit | Single-phase 200 V, 600 W approx. |