溅射离子泵

PST 系列

PST-200CXII/AXII

アルバック

溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵。


被广泛应用于分析仪和加速器中。ULVAC的acter溅射离子泵单个泵能够产生10-10Pa级的极·超高真空度。


ULVAC通过开发强化极·超高真空领域排气特性的新型元件(acter元件)和优化磁场的技术,开发出了"acter泵"。

特点

  • 应用于极・超真空,已通过ISO标准,极限压力10-9 Pa测试 。
  • 稀有气体排气增强型(AU型)的排气性能是氩气的两倍。(与本公司相比)
  • 在超高真空范围内实现高抽速。
  • 在短时间内可以达到超高真空。
  • 在超高真空范围内具有出色的启动特性。(超高真空范围内持续放电)

用途

  • 加速器
  • 电子显微镜
  • 分析机器

规格

Evacuation speed to(reproduced evacuation speed)
1×10-7Pa
N2 0.20m3/s(CX2・AX2)
Ar: 0.02m3/s(CX2)
0.105m3/s(AX2)
Final pressure 10-10Pa order
Operation pressure <3.8×10-3Pa(recommended value)
(Maximum operation pressure 1×10-3Pa)
*Using GST-07L controller
Volume 0.011m3 approx.
Number of pump elements CX2 cells (x 2), AX2 cells (x 2)
Connection flange model UFC203
Applied voltage DC+7.5kV
Standard bake-out temperature 250°C
Weight 65kg approx.(with heater, cover)
External dimensions W×D×H 296×361×376 mm
Power required by heater unit Single-phase 200 V, 600 W approx.

下载

下载产品目录,CAD数据,I/O数据需要进行用户注册。请从下方直接登录或创建您的爱发科网站账户,完成下载。

咨询该产品相关问题

This website use cookies to obtain and use access data to understand the convenience and usage of customers. If you agree to use cookies, click "I Accept".
[Privacy Plicy] [Cookie Policy]

I Accept