溅射离子泵

PST 系列

PST

アルバック

溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵,广泛应用于分析仪和加速器中。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件和优化磁场的技术,开发出了泵。

特点

  • 应用于极・超真空,已通过ISO标准,极限压力10-9 Pa测试 。
  • 稀有气体排气增强型(AU型)的排气性能是氩气的两倍。(与本公司相比)
  • 在超高真空范围内实现高抽速。
  • 在短时间内可以达到超高真空。
  • 在超高真空范围内具有出色的启动特性。(超高真空范围内持续放电)

用途

  • 加速器
  • 电子显微镜
  • 电子束曝光装置
  • 讨厌振动的分析装置
  • 极・超高真空环境下的使用等

规格

型号 PST-030CU PST-030AU PST-050CU PST-050AU PST-100CX PST-100AX
主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体
排气速度*
(再生排气速度)
0.03m3/s
(N2 测定时)
0.013m3/s
(Ar 测定时)
0.045m3/s
(N2 测定时)
0.016m3/s
(Ar 测定时)
0.10m3/s
(N2 测定时)
0.05m3/s
(Ar 测定时)
到达压力 10-9Pa
动作压力 推荐值 <8.0×10-3Pa <5.0 x 10-3Pa
内容积 0.67 X 10-3m3 1.3x10-3m3 3.3x10-3m3
泵元件数量 CU型单元×1 式 AU sell×1式 CU sell×1 AU sell×1 CX sell×1 AX sell×1
连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152
施加电压 DC+7.5kV
加热器   无设定 AC200V, 300W AC200V, 320W
烘烤温度 250℃
质量 9.5 kg 12kg 37kg
外形尺寸 W x H x D 103×183×187 mm 153×204×241mm 155×336×340mm
使用环境 温度范围 5~40℃
湿度范围 85%以下(无结露)
固定泵的螺栓孔尺寸 4处-M5
深10mm
4处-M8
深6mm
推荐的控制器 GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用时

型号 PST-110AU PST-200CXII PST-200AXII PST-400CXII PST-400AXII
主要对象气体 活性气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体
排气速度*
(再生排气速度)
0.11m3/s
(N2 测定时)
0.2m3/s
(N2 测定时)
0.02m3/s
(Ar 测定时)
0.36m3/s
(N2 测定时)
0.19m3/s
(Ar 测定时)
到达压力 10-9Pa 10-10Pa
动作压力 推荐值 <4.5x10-3Pa <3.8x10-3Pa <3.0x10-3Pa
内容积 6.5x10-3m3 11x10-3m3 14x10-3m3
泵元件数量 AU sellx1 CX sell×2 AX sell×2 CX sell×4 AX sell×4
连接法兰规格 UFC152 UFC203
施加电压 DC+7.5kV
加热器   无设定 AC200V, 600W AC200V, 800W
烘烤温度 250℃
质量 36.5kg 65kg 124kg
外形尺寸 W x H x D 171×387×293mm 296×361×376mm 296×544×376mm
使用环境 温度范围 5~40℃
湿度范围 85%以下(无结露)
固定泵的螺栓孔尺寸 4处-M6
深5mm
4处-M8
深15mm
6处-M8
深度15mm
推荐的控制器 GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用时

PST系列控制器

型号 GST-07L-B
输入规格 输入电压、电流 AC100~115V±10% ・ 50/60Hz~3.0A
AC200~240V±10% ・ 50/60Hz~1.5A
泄露电流   6mA以下
输入电压切换方式 手动(通过电源内部DIP开关操作)
输出规格 额定电压   DC +7.5kV(约1.0~7.5kV大小可变)
额定电流   DC30mA以下
输出极性   正极性
输出特性   恒压特性
显示方式 数字显示(7段 LED显示)
表示范围 输出电流显示范围   1μA~30mA(mA, μA两种单位自动切换)
输出电压显示范围   0.0~7.5 kV DC
压力显示 Pa 1×10-8~1×10-2
mbar 1×10-10~1×10-4
压力设定点 2点
保护功能 错误显示/配备各种保护功能
显示亮灯,高电压 (HV) 输出断开 (Err. 0-8)
停电后的恢复 在HV-ON开关处于ON状态时,停电后可自动恢复。
外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头), 搭载RS232C通讯控制
Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出, 各段DC0~10V F.S
允许负载阻抗100kΩ以上
REMOTE/LOCAL 通过前面板的开关进行切换
冷却方式 强制空冷方式
质量   本体 : 4.0kg
外形尺寸 W×H×D 200 x 99 x 370 mm (架子安装五金件除外)
使用环境 温度范围 0 ~ 40℃
湿度范围 85%以下(无结露)
符合规格 CE, cTUVus

排气速度曲线

  • PST-030CU_AU
PST-030CU-AU_curve.png
  • PST-050CU_AUPST-050CU_curve.png
  • PST-100CX_AX
PST-100CX-AX_curve.png
  • PST-110AUPST-110AU_curve.png
  • PST-200CXII_AXIIPST-200CX-AX_curve.png
  • PST-400CXII_AXIIPST-400CX_curve.png

尺寸图

  • PST-030CU_AUPST-030_JE1.png
  • PST-050CU_AUPST-050_E.png
  • PST-100CX_AXPST-100_E.png
  • PST-110AUPST-110_JE.png
  • PST-200CXII_AXIIPST-200_E.png
  • PST-400CXII_AXIIPST-400_E.png

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