SHOWCASE

油扩散泵

BW 系列

BW-02

アルバック

抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

特点

  • 保护真空容器内部免受油扩散泵的油雾污染。
  • 最大限度地减少排气阻力。
  • 通过设适配器,BW-04B和BW-06B可以进一步抑制油蒸汽的逆流。

规格

型号 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52
电导率[L/sec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000
外部尺寸[mm] D Φ120 Φ149 Φ199 Φ350 Φ450 Φ625 Φ680 Φ1065 Φ1480
T 16 28 28 44 50 152 101 113 165
t 16 25 25 22 22 24 26 28 35
冷却水取合(尺寸) Rc 1/8 Rc 1/4 Rc 1/4 Rc 1/4 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 1/2
冷却水量[L/min] 1.5 0.7 1 2 2 3 3 5 5
重量[kg] 1 1.3 1.7 7.6 11 22 28 66 200

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