油扩散泵

PFL 系列

PFL-52

アルバック

ULVAC的PFL型油扩散泵的设计·制造基于多年的研究和丰富的制造经验。ULVAC密切关注材料选择和制造技术,确保了PFL系列产品的可靠性和高性价比。PFL型油扩散泵被许多高真空生产设备使用,其实用性能广受好评。

被许多高真空生产设备使用,那个实用性能被高度评价。

特点

  • 与其他相同口径的泵相比,具有更高的抽速。
  • 几乎没有油蒸汽回流
  • 高效且经济,需要动力少,油也很少。
  • 加热器的更换和修理非常容易。
  • 焊接技术非常好,使用氦气检漏仪进行过完整的泄漏测试,因此具有非常高的机械性和真空性。

规格

Model PFL-22 PFL-36 PFL-52
Pumping speed(L/sec) 10000 34000 70000
Ultimate pressure(Pa)*1 3.0×10-4
Maxium forepressure(Pa) 16 6.7 16
Heating up time(min) 40 60 60
Oil ULVOIL D-11
Oil capacity(L) 5 13 27
Cooling water temperature(℃) 19~25℃
Water connections Rc 1/2×2 Rc 1/2×2 Rc 1/2×4
Rc 3/8×2
Water capacity(L/min) 12 38 50
Voltage 200V / 3φ
Pump power(kW) 8 Start-Up 22
Normal 11
Start-Up 45
Normal 30
Heater type colled element colled element colled element
Standard backing pump*2 PMB-040C+PKS-070
(PMB1200D+PKS-030)
PMB-040C+PKS-070
(PMB1200D+PKS-070)
(PMB2400D+PKS-070)
PMB-060C+PKS-070×2台
PMB2400D+PKS-070
Dimensions(mm)*3 A 480 725 1000
B 630 1022 2000
H 1330 1732 2845
Inlet VG550 VG900 VG52相当inch
Outlet VG150 VG250 VG350
Weight(kg) 290 650 1400
Oil level gage ビューポート ビューポート ビューポート
Themal switch option 有り 有り 有り
Themal switch operating temperature(℃) 180 110 110

Water Cooling Baffle(PFL)

Model BW-22 BW-36 BW-52
Conductance(L/sec) 14000 54000 75000
Dimensions [mm] D φ680 φ1065 φ1480
T 101 113 165
t 26 28 35
Water connections Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 1/2
Water capacity
[L/min]
3 5 5
Weight [kg] 28 66 200

*1 The ultimate pressure by an ionization gauge in the case of coolant temperature 20 degrees Ceisius.
*2 The backing pump chooses it for the maximum throughput of the diffusion ejector pump,but,in consideration of time of starting pressure,it is good to use a big backing pump.
*3 Please confirm other dimensions by CAD data placing in the ULVAC,Inc.website.

該非判定結果報告書 Download

SDS Download

可选部件・消耗品

咨询该产品相关问题

This website use cookies to obtain and use access data to understand the convenience and usage of customers. If you agree to use cookies, click "I Accept".
[Privacy Plicy] [Cookie Policy]

I Accept