油扩散泵

ULK 系列

ULK-14A (Oil D-11)

アルバック

ULVAC的ULK型油扩散泵是加大了临界背压设计的小型化高真空排气泵。从研究用途到工厂生产线都有广泛应用。

特点

  • 临界背压设计得很大。
  • ~10-2 Pa (10-4 torr)台性能非常稳定。
  • 采用松套法兰法。 (不包括ULK-04A,06A排气口法兰)
  • 泵的清洁非常轻松。 (部件拆卸很容易)
  • 在辅助泵侧配备有防止液压油流出的机构。

用途

・蒸发设备
・高真空实验设备

规格

型号 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A
排气速度(L/sec) 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900
极限压力(Pa)*1 <2.6×10-5 <2.6×10-5 <2.6×10-5 <2.6×10-5 <2.6×10-5 <2.6×10-5 <2.6×10-5 <2.6×10-5
临界背压(Pa) 40 60 40 60 35 40 30 30
工作开始时间(min) 9 8.5 16.5 15 20 20 25 25
液压油*4 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31
油量(L) 0.15 0.35 0.8 1.5
水温(℃) 19℃~25℃
冷却水进水口(尺寸) Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 3/8" Rc 3/8"
冷却水量(L/min) 1 1 1 1.5 2.5 3 2.5 3.5
电压规格 200V/1Φ
电力需求(kW) 0.55 0.73 0.9 1.2 2 2.4 2.25 2.4
加热器种类 热板 热板 热板 热板
推荐辅助泵*2 VD151/VD201
PVD-180/PVD-360
VD30C/VD40C/VD60C VD90C
VS1501
PKS-016/PKS-030
VS1501/VS2401/PKS-030
外形尺寸*3(mm) A 175 250 340 340
B 150 180 240 240
H 344 449 650 670
吸气口 VG100 VG150 VG250 VG350
排气口 VG25 VG40 VG80 VG80
重量(kg) 7.5 13.5 47 56
油位计 视窗 视窗
温控器选项
恒温器设定温度(℃) 250 250 180 180

*1 当冷却水量为20℃时,极限压力基于电离真空计。
*2 这里是根据扩散泵最大流量来选择辅助泵的。通常情况下,考虑到粗抽时间,使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。
*3 如需其他尺寸,请查看我们网站上的CAD数据。
*4 D-11是烃类通用油,D-31是具有高热稳定性的硅基扩散泵油。

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