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油扩散泵
ULK 系列
ULK-14A (Oil D-31)
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ULVAC的ULK型油扩散泵是加大了临界背压设计的小型化高真空排气泵。从研究用途到工厂生产线都有广泛应用。
特点
- 临界背压设计得很大。
- ～10-2 Pa (10-4 torr)台性能非常稳定。
- 采用松套法兰法。 （不包括ULK-04A，06A排气口法兰）
- 泵的清洁非常轻松。 （部件拆卸很容易）
- 在辅助泵侧配备有防止液压油流出的机构。
用途
・蒸发设备
・高真空实验设备
规格
| 型号 | ULK-04A | ULK-06A | ULK-10A | ULK-14A | |||||
| 排气速度(L/sec) | 550 | 500 | 1200 | 1100 | 3400 | 3000 | 5400 | 4900 | |
| 极限压力(Pa)*1 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-5 | ＜2.6×10-5 | |
| 临界背压(Pa) | 40 | 60 | 40 | 60 | 35 | 40 | 30 | 30 | |
| 工作开始时间(min) | 9 | 8.5 | 16.5 | 15 | 20 | 20 | 25 | 25 | |
| 液压油*4 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | |
| 油量(L) | 0.15 | 0.35 | 0.8 | 1.5 | |||||
| 水温(℃) | 19℃～25℃ | ||||||||
| 冷却水进水口(尺寸) | Rc 1/4" | Rc 1/4" | Rc 3/8" | Rc 3/8" | |||||
| 冷却水量(L／min) | 1 | 1 | 1 | 1.5 | 2.5 | 3 | 2.5 | 3.5 | |
| 电压规格 | 200V/1Φ | ||||||||
| 电力需求(kW) | 0.55 | 0.73 | 0.9 | 1.2 | 2 | 2.4 | 2.25 | 2.4 | |
| 加热器种类 | 热板 | 热板 | 热板 | 热板 | |||||
| 推荐辅助泵*2 | VD151/VD201 PVD-180/PVD-360 |
VD30C/VD40C/VD60C | VD90C VS1501 PKS-016/PKS-030 |
VS1501/VS2401/PKS-030 | |||||
| 外形尺寸*3(mm) | A | 175 | 250 | 340 | 340 | ||||
| B | 150 | 180 | 240 | 240 | |||||
| H | 344 | 449 | 650 | 670 | |||||
| 吸气口 | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | |||||
| 排气口 | VG25 | VG40 | VG80 | VG80 | |||||
| 重量(kg) | 7.5 | 13.5 | 47 | 56 | |||||
| 油位计 | 无 | 无 | 视窗 | 视窗 | |||||
| 温控器选项 | 有 | 有 | 有 | 有 | |||||
| 恒温器设定温度(℃) | 250 | 250 | 180 | 180 | |||||
*1 当冷却水量为20℃时，极限压力基于电离真空计。
*2 这里是根据扩散泵最大流量来选择辅助泵的。通常情况下，考虑到粗抽时间，使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。
*3 如需其他尺寸，请查看我们网站上的CAD数据。
*4 D-11是烃类通用油，D-31是具有高热稳定性的硅基扩散泵油。
