油扩散泵

ULK 系列

ULK

アルバック

ULVAC的ULK型油扩散泵是加大了临界背压设计的小型化高真空排气泵。从研究用途到工厂生产线都有广泛应用。

特点

  • 没有机械式的滑动部分,坚固型高真空泵。
  • 有2种油和加热器可供选择,能够满足所需要的排气速度、到达压力。
  • 配有防止向辅助泵侧返油的机构。

用途

・蒸发设备
・高真空实验设备

规格

型号  ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A
排气速度  550L/sec 500L/sec 1,200L/sec 1,100L/sec 3,400L/sec 3,000L/sec 5,400L/sec 4,900L/sec
极限压力
*1 
<2.6×10-5
Pa
<2.6×10-6
Pa
<2.6×10-5
Pa
<2.6×10-6
Pa
<2.6×10-5
Pa
<2.6×10-6
Pa
<2.6×10-5
Pa
<2.6×10-6
Pa
临界背压   40 Pa 60 Pa 40 Pa 60 Pa 35 Pa 40 Pa 30 Pa 30 Pa
工作开始
时间
9 min 8.5 min 16.5 min 15 min 20 min 20 min 25 min 25 min
液压油
*2 
ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
油量   0.15 L 0.35 L 0.8 L 1.5 L
水温   19℃~25℃
冷却水
进水口
(尺寸)  
Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 3/8" Rc 3/8"
冷却水量   1 L/min 1 L/min 1 L/min 1.5 L/min 2.5 L/min 3 L/min 2.5 L/min 3.5 L/min
电压规格   200V/1Φ V
电力需求   0.55 kW 0.73 kW 0.9 kW 1.2 kW 2 kW 2.4 kW 2.25 kW 2.4 kW
加热器
种类  
热板 热板 热板 热板
推荐
辅助泵
*3     
VD151/VD201 VD30C/VD40C/VD60C VD90C VS1501/VS2401/PKS-030
PVD-180/PVD-360   VS1501
PKS-016/PKS-030
外形尺寸 *4   A 175 mm 250 mm 340 mm 340 mm
B 150 mm 180 mm 240 mm 240 mm
H 344 mm 449 mm 650 mm 670 mm
吸气口   VG100 VG150 VG250 VG350
排气口   VG25 VG40 VG80 VG80
重量   7.5 Kg 13.5 Kg 47 Kg 56 Kg
油位计  视窗 视窗
温控器
选项 
恒温器
设定温度  
250 250 180 180

*1 当冷却水量为20℃时,极限压力基于电离真空计。
*2 D-11是烃类通用油,D-31是具有高热稳定性的硅基扩散泵油。
*3 这里是根据扩散泵最大流量来选择辅助泵的。
  通常情况下,考虑到粗抽时间,使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。
*4 关于其他尺寸,请确认本公司网站上的CAD数据(二维图纸、三维图纸)。

排气速度曲线

  • ULK-04A / 06A
ULK-04A_06A_curves.png
  • ULK-10A / 14A
ULK-10A_14A_curves.png

尺寸图

ULK.png
ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A
A 175 mm 250 mm 340 mm 340 mm
B 150 mm 180 mm 240 mm 240 mm
C 342.5 mm 449 mm 650 mm 670 mm

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