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涡轮分子泵
UTMｰB 系列
UTM-B
アルバック
采用陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，实现了省空间。出色的高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。
特点
- 安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。 - 搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。 - 高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。 - 三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。 - 清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
用途
- 分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
- 蒸发设备、溅射设备等著排气系统
- H2、He等轻气体主排气系统
规格
| 型号 | UTM70B | UTM300B | |||||
| 泵体 | 冷却方式 | 自然空冷 | 強制空冷 | 自然空冷 | 強制空冷 | ||
| 法兰口径 | 吸气口*1 | VG65, ICF114, ISO063-K | VG100, ICF152, ISO100-K | ||||
| 排气口 | KF16 | KF16 | |||||
| 排气速度 (无防护网时) |
N2 | 70 L/s | 280 L/s | ||||
| He | 60 L/s | 270 L/s | |||||
| H2 | 49 L/s | 220 L/s | |||||
| 到达压力 *2 | 烘烤后 | - *3 | 10-8Pa | - *3 | 10-8Pa | ||
| 烘烤前 | 10-6Pa | 10-6Pa | 10-6Pa | ||||
| 最大压缩比 | N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105 | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||||
| 最大吸气口压力 *4, *5, *6 |
N2 | 0.43Pa | 1.1Pa | 0.06Pa | 0.7Pa | ||
| 最大排气口压力 *4, *5, *7 |
N2 | 300Pa | 900Pa | 100Pa | 1000Pa | ||
| 连续运转 最大流量 *8 |
无排放 气体 |
N2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10sccm *10 | 100sccm *10 | |
| 无排放 气体 |
Ar | - | 10sccm *9 | - | 30sccm *10 | ||
| 有排放 气体 |
- | 15sccm *9 | - | 40sccm *10 | |||
| 推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) *11 |
>60L/min | >120L/min | |||||
| 质量 | VG：3.3kg, ISF：3.0kg, ISO：5.0kg | 6.0kg / 9.0kg | 6.3kg / 9.3kg | ||||
| 回转数 | 87000rpm | 60000rpm | |||||
| 启动时间（Up to 80%） (DC24V 背圧:5Pa以下时） |
1.7 min | 3.5 min | |||||
| 表面处理 *12 | 无 | ||||||
| 安装方向 | 全方位安装可能 | ||||||
| 噪音 *13 | <48dB(A) | <50dB(A) | |||||
| 控制器 | 输入电源 | DC24V ±5%, 120W | DC24V ±5%, 180W | ||||
| 触点输入输出 | REMOTE(D-sub 15针公头)数字输入/输出4点，模拟输出1点 | ||||||
| 串行通信 | RS-485(D-sub 15针公头,与REMOTE共用) | ||||||
| LED显示 | POWER,NORMAL,ALARM | ||||||
| 开关 | START/STOP,RESET | ||||||
| 回转数可变机能 | 在泵规定回转数25%～100%间、可以变更运转回转数。（设定为0.1%单位） | ||||||
| 异常检测 | 报警，检测警告内容 | ||||||
| 保护动作 | 报警，显示警告内容 | ||||||
| 标准附属品 | 使用说明书（CD-R）、防护网（仅限VG、ICF。ISO法兰的已组入垫片）、 垫片（吸气口用）、防尘帽（吸气口、排气口、连接器用）各1个 |
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| 合格标准 | CE, TUVus | ||||||
| *1 | 订购时请选择吸气口法兰。 |
| *2 | 使用2段式辅助泵时 |
| *3 | 仅限于使用ICF法兰强制空冷时才能烘烤。 |
| *4 | 周围温度为25°C时的值。允许值随周围温度变化而变化。 |
| *5 | 不能同时满足最大吸气口压力和最大排气口压力。 |
| *6 | 为可连续排气的最大吸气口压力。 |
| *7 | 来自进气口的排气流量为0sccm时的可连续运行的排气口的最大压力。 |
| *8 | 周围温度为5～25°C时的值。排放气体请使用N2以25sccm进行。 |
| *9 | 以60L/min使用辅助泵时的值。 |
| *10 | 以120L/min使用辅助泵时的值。 |
| *11 | 气体量较大时，在选择辅助泵时请保证排气口的压力要在最大排气口压力以下。 |
| *12 | 请勿流入反应性气体、腐蚀性气体、含Ga气体。其他相关问题请联系我们。 |
| *13 | ISO法兰型。依据本公司的测量方法。 |
尺寸图
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