涡轮分子泵

UTMーFH 系列

UTM-FH

アルバック

采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承,实现了高性能、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压·高压缩型,提高了氢压缩比,用于轻·中间工艺,FW系列是广域·大流量型,用于高负荷工艺和中间·硬工艺。

特点

  • 配备监控・自我诊断功能、通信功能,可与集中管理系统数字化通信。
  • 配备有无耦合系统。 仅通过一个电源就可以与任何替换泵组合使用。
  • 配备变速系统。 排气速度可以在25%至100%的范围内切换。
  • 具有优异的耐腐蚀表面处理性,可支持选择特殊表面处理和内部升温系统,
    以进行进一步的硬化处理(FW系列)
  • 采用断裂能量吸收结构,高安全性设计,减少故障时的设备损坏。
  • 符合CE标志

用途

  • 中,重工艺用主泵(FW系列)
  • 轻,中工艺用主泵(FH系列)
  • 各种实验装置的高,超高真空排气用主泵

规格

型号   UTM-350FH UTM-480FH UTM-800FH UTM-1001FH UTM-3303FH
法兰口径 吸气口 VG100 ICF152 VG150 ICF203 VG150 ICF203 VG200 ICF253 VG350
吸气口 NW25 NW40
排气速度
*1*2
L/sec N2 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300
H2 320 310 340 340 530 520 570 570 2400
到达压力 *1*3 Pa 10-8
最大压缩比*1*3 N2 >1010 >109 >1011
H2 1 x 104 3 x 104 9 x 104
N2 最大
吸气口
压力 *1*4
(最大流量时)
Pa 水冷 43 18 9
空冷 8 0.7 -
N2 最大
排气口
压力 *1*4
(最大流量时)
Pa 水冷 410 180 210
空冷 240 50 -
N2 连续运转
最大流量 *4
SCCM 水冷 850 1100 1800
空冷 480 260 -
Ar 连续运转
最大流量*4
SCCM 水冷 370 480 1100
空冷 160 110 -
回转数 rpm 45000 36000 22200
启动时间/停止时间 min 约 4.0 / 4.0 约 6.0 / 10.0 约 12 / 16
轴承方式 数字5轴控制磁浮轴承
动翼表面处理 镀镍 无处理
本体烘烤温度 ≦120
冷却方式 水冷 / 空冷 水冷
冷却水连接口 Rc 3/8
冷却水流量 L/min ≧3.0
冷却水出入口压差 MPa ≧0.05
气体排放口 NW10 NA
气体排放流量 SCCM 10 25 NA
质量 kg 17 28 86
标准辅助泵*5 L/min 290 800 1500
噪音 dBA 64 65 55
电源容量 kVA 0.6 0.9 1.6
输入电压 ACV 单相200~240
输入频率 Hz 50 / 60
电机驱动方式 VVVF
稳定时输出频率 Hz 750 600 370
允许周围温度 0~40
质量 kg 10.0
符合规格 CE

Note)本表中的数值为实测数据的代表值,并非保证值。
*1 根据JVIS005标准的测量值。且为基于该测量值的计算值。
*2 未安装防护金属网时的值。
*3 顺序表示。
*4 标准的表面处理、标准辅助泵时的排气值。在最大吸气压力附近长时间连续使用时,请联系我们。
*5 请根据气体流量适当选择容量较大的泵。

尺寸图

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UTM-FH_size_en3.png UTM-FH_size_en4.png
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