涡轮分子泵

UTMーFW 系列

UTM-3301FW

アルバック

采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承,实现了高性能、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压·高压缩型,提高了氢压缩比,用于轻·中间工艺,FW系列是广域·大流量型,用于高负荷工艺和中间·硬工艺。

特点

  • 具有监控和自诊断功能以及通信功能,可与集中管理系统数字化通信。
  • 配备有无耦合系统。 仅通过一个电源就可以与任何替换泵组合使用。
  • 配备变速系统。排气速度可以在25%至100%的范围内切换。
  • 具有优异的耐腐蚀表面处理性,可支持选择特殊表面处理和内部升温系统,以进行进一步的硬化处理(FW系列)
  • 采用断裂能量吸收结构,高安全性设计,减少故障时的设备损坏。
  • 符合CE标志

用途

  • 中,重工艺用主泵(FW系列)
  • 轻,中工艺用主泵(FH系列)
  • 各种实验装置的高,超高真空排气用主泵

规格

Wide range and high throughput models High back-pressure and high compression models Inlet flange size N2pumping speed(L/s) *1 *2
- UTM-6300FH VG500 6300
UTM-3301FW UTM-3303FH VG350 3300
UTM-2300FW - VG300 2730
VG250 2230
ICF305 2110
UTM-1400FW - VG250 1490
VG200 1360
ICF253 1300
UTM-1001FW UTM-1001FH VG200 1000
ICF253 1000
UTM-800FW UTM-800FH VG150 810
ICF203 740
UTM-480FW UTM-480FH VG150 480
ICF203 480
UTM-350FW UTM-350FH VG100 350
ICF152 330

*1 Value measured in accordance with JVIS005 standard, or calculated value based on it
*2 Protective mesh isn't used.

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