涡轮分子泵

UTMーFW 系列

UTM-FW

アルバック

采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承,实现了高性能、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压·高压缩型,提高了氢压缩比,用于轻·中间工艺,FW系列是广域·大流量型,用于高负荷工艺和中间·硬工艺。

特点

  • 具有监控和自诊断功能以及通信功能,可与集中管理系统数字化通信。
  • 配备有无耦合系统。 仅通过一个电源就可以与任何替换泵组合使用。
  • 配备变速系统。排气速度可以在25%至100%的范围内切换。
  • 具有优异的耐腐蚀表面处理性,可支持选择特殊表面处理和内部升温系统,
    以进行进一步的硬化处理(FW系列)
  • 采用断裂能量吸收结构,高安全性设计,减少故障时的设备损坏。
  • 符合CE标志

用途

  • 中,重工艺用主泵(FW系列)
  • 轻,中工艺用主泵(FH系列)
  • 各种实验装置的高,超高真空排气用主泵

规格

型号 UTM-350FW UTM-480FW UTM-800FW UTM-1001FW
法兰口径 吸气口 VG100 ICF152 VG150 ICF203 VG150 ICF203 VG200 ICF253
排气口 NW25 NW40
排气速度 *1*2 L/sec 350 N2 330 N2 480 N2 480 N2 810 N2 740 N2 1000 N2 1000 N2
320 H2 310 H2 340 H2 340 H2 530 H2 520 H2 570 H2 570 H2
到达压力 *1*3 10-7
最大压缩比*1*3 >1010 N2 >109 N2
3 x 103 H2 4 x 103 H2
N2 最大吸气口
压力 *1*4
(最大流量时)
水冷 76 Pa 38 Pa
空冷 16 Pa 1.2 Pa
N2 最大排气口
压力 *1*4
(最大流量时)
水冷 440 Pa 290 Pa
空冷 270 Pa 70 Pa
N2 最大排气口
压力 *1*4
(at SCCM)
水冷 650 Pa(100SCCM時) 510 Pa(200SCCM時)
空冷 520 Pa(100SCCM時) 290 Pa(200SCCM時)
N2 连续运转
最大流量 *4
水冷 950 SCCM 1800 SCCM
空冷 560 SCCM 370 SCCM
Ar 连续运转
最大流量*4
水冷 460 SCCM 700 SCCM
空冷 210 SCCM 170 SCCM
回转数 rpm 45000 36000
启动时间/
停止时间
min 約 4.0 / 4.0 約 6.0 / 10.0
轴承方式 数字5轴控制磁浮轴承
动翼表面处理 镀镍
本体烘烤温度 ≦120
冷却方式 水冷 / 空冷
冷却水连接口 Rc 3/8
冷却水流量 L/min ≧3.0
冷却水出入口压差 MPa ≧0.05
气体排放口 NW10
气体排放流量 SCCM 10 25
质量 kg 17 28
标准辅助泵*5 L/min 290 800
噪音 dBA 64 65
电源容量 kVA 0.6 0.9
输入电压 ACV 单相 200~240
输入频率 Hz 50 / 60
电机驱动方式 VVVF
稳定时输出频率 Hz 750 600
允许周围温度 0~40
质量 kg 10.0
符合规格 CE

型号   UTM-1400FW UTM-2300FW UTM-3301FW
法兰口径 吸气口 VG250 VG200 ICF253 VG300 VG250 ICF305 VG350
排气口 NW40
排气速度 *1*2 L/sec 1490 N2 1360 N2 1300 N2 2730 N2 2230 N2 2110 N2 3300 N2
890 H2 860 H2 860 H2 1850 H2 1720 H2 1700 H2 2400 H2
到达压力 *1*3 10-8 10-7
最大压缩比*1*3 >109 N2 >108 N2
6 x 103 H2 9 x 103 H2 8 x 103 H2
N2 最大吸气口
压力 *1*4
(最大流量时)
水冷 13 Pa 7 Pa 8 Pa
空冷 -
N2 最大排气口
压力 *1*4
(最大流量时)
水冷 240 Pa 180 Pa
空冷 -
N2 最大排气口
压力 *1*4
(at SCCM)
水冷 -
空冷 -
N2 连续运转
最大流量 *4
水冷 1400 SCCM 1500 SCCM
空冷 -
Ar 连续运转
最大流量*4
水冷 1000 SCCM 1350 SCCM 1300 SCCM
空冷 -
回转数 rpm 32100 24600 21600
启动时间/
停止时间
min 約 7.0 / 7.0 約 9.0 / 9.0 約 12.0 / 16.0
轴承方式 数字5轴控制磁浮轴承
动翼表面处理 镀镍
本体烘烤温度 ≦120
冷却方式 水冷
冷却水连接口 Rc 3/8
冷却水流量 L/min ≧3.0
冷却水出入口
压差
MPa ≧0.05
气体排放口 NW10
气体排放流量 SCCM 25 50
质量 kg 36 60 90
标准辅助泵*5 L/min 800 1500
噪音 dBA 63 62 58
电源容量 kVA 1.2 1.3 2.0
输入电压 ACV 单相 200~240
输入频率 Hz 50 / 60
电机驱动
方式
VVVF
稳定时输
出频率
Hz 535 410 360
允许周围温度 0~40
质量 kg 10.0
符合规格 CE
Note) 本表中的数值为实测数据的代表值,并非保证值。
*1 根据JVIS005标准的测量值。且为基于该测量值的计算值。
*2 未安装防护金属网时的值。
*3 顺序表示。
*4 标准的表面处理、标准辅助泵时的排气值。在最大吸气压力附近长时间连续使用时,请联系我们。
*5 请根据气体流量适当选择容量较大的泵。

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