涡轮分子泵

UTM-MI 系列

UTM-MI

アルバック

采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化,实现了省配线,省空间。

特点

  • 泵体和控制器一体化
    泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。
  • 安装方向自由
    安装方向没有限制,扩展了设备设计的自由度。
  • 广域大流量设计,适用于轻工艺
  • 泵速可以在25%至100%的范围内变化,腔室的压力可以调节。
  • 高耐久性和安全性
    已经通过各种安全确认测试,例如空气冲击测试和触地测试。

用途

  • 各种设备的主真空排气系统
    ・半导体制造设备
    ・蒸发设备
    ・溅射设备
    ・分析设备
    ・实验设备等
    ・研究开发设备
  • 不会生成副反应物的轻工艺的主排气系统
  • 替换设备上的有扩散泵
  • 其他一般高真空排气用途

规格

型号 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A
吸气口 VG
150
ISO
160F
VG
200
VG
250
ISO
200F
ISO
250F
VG
250
ISO
250F
VG
300
VG
350
ISO
320F
排气口 KF40
极限压力 *1 10-7 Pa
排气速度 *2*3 N2 1030 L/s 1400 L/s 2100 L/s 3200 L/s
Ar 980 L/s 1330 L/s 2000 L/s 3100 L/s
H2 660 L/s 750 L/s 1380 L/s 2100 L/s
压缩比 N2 2×108 ≧ 1×108 ≧ 1×109
He 7×103 5×103 1×105
H2 8×102 9×102 6×103
最大吸气口圧力 *4 26 Pa 4.5 Pa 7 Pa
最大排气口压力 *4 266 Pa 200 Pa 270 Pa
旋转数 37200 min-1 33700 min-1 27600 min-1
旋转数可変功能 泵的运转旋转数可以在规定旋转数的25%~100%之间变化。 (设定单位为0.1%) 
启动时间 8分以内 9分以内 16分以内
安装方向 可全方位安装
表面处理 *5
外部控制 远程接口 D-sub25内针 接点入输出 D-sub37内针 接点入输出
串联接口 D-sub9外针 RS232C/RS485 D-sub9外针 RS232C/RS485
控制器 构成 与泵的本体一体化(内置于底部)
电源 单相AC200 ~240V ±10%(50/60Hz ±2Hz)
最大所要动力 0.75kVA 1.2kVA
冷却方式 水冷
冷却水 *6 流量 3~4 L/min
水圧 0.2 ~ 0.4M PaG
噪音 57 dB(A) 60 dB(A)
质量 43 kg 41 kg 56 kg 94 kg
推荐辅助泵 *7 600L/min以上 1500L/min以上
符合标准 CE、TUVus
标准配件 吸气口用O-ring(仅VG),排气口用防尘罩,远程控制用连接器,使用说明书(CD-ROM) 
选择规格 A流量 AC连接器/AC电线(5m/10m/15m/20m)
泵固定用特殊螺栓 M10/ M12
泵固定用特殊螺栓要否 要(M10) *8 不要 *8
选项品 气口用适配器:KF10

*1:顺序表示。
*2:在没有保护网时的值。 
*3:UTM2300A和UTM3400A为计算值。  
*4:不能同时满足最大吸气口压力和最大排气口压力的条件。
*5:请勿使用反应性气体,腐蚀性气体。关于气体气体请咨询我们。  
*6:不结露。 
*7:30SCCM吸引时。 
*8:螺栓的强度和固定方法等的各种条件,详细信息请参照规格书。

尺寸图

UTM-MI_size.png

  • Dimensions

(mm)

A B C D E
UTM1200A VG150 235 439 218 - 285
ISO160F 225 442 218 - 285
UTM1600A VG200 300 374 218 - 285
ISO200F 285 374 218 - 285
VG250 350 374 218 - 285
ISO250F 335 374 218 - 285
UTM2300A VG250 350 376 233 245 310
ISO250F 335 376 233 245 310
UTM3400A VG300 400 462 233 245 360
VG350 450 462 233 245 360
ISO320F 425 467 233 245 360

Note)The position and phase of outlet, gas purge port,
   cooling water valve and cooling water valve connector are different to types.
   Please contact us for the details information.

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