涡轮分子泵
UTM-MI 系列
UTM1200A
アルバック
采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化,实现了省配线,省空间。
特点
- 泵体和控制器一体化
泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。 - 安装方向自由
安装方向没有限制,扩展了设备设计的自由度。 - 产品阵容涵盖排气速度1000 L / s至4000 L / s。
- 广域大流量设计,适用于轻工艺
泵速可以在25%至100%的范围内变化,腔室的压力可以调节。 - 高耐久性和安全性
已经通过各种安全确认测试,例如空气冲击测试和触地测试。
用途
- 各种设备的主真空排气系统
・半导体制造设备
・蒸发设备
・溅射设备
・分析设备
・实验设备等
・研究开发设备 - 不会生成副反应物的轻工艺的主排气系统
- 替换设备上的有扩散泵
- 其他一般高真空排气用途
规格
型号 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||
吸气口 | VG150 ISO160F |
VG200/VG250 ISO200F/ISO250F |
VG250 ISO250F |
VG300/VG350 ISO320F |
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排气口 | KF40 | |||||
极限压力(*1) | Pa | 10-7 | ||||
排气速度 (*2)(*3) | N2 | L/s | 1030 | 1400 | 2100 | 3200 |
Ar | L/s | 980 | 1330 | 2000 | 3100 | |
H2 | L/s | 660 | 750 | 1380 | 2100 | |
压缩比 | N2 | 2×108 | 1×108 以上 | 1×109 以上 | ||
He | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||
H2 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||
最大吸气口圧力(*4) | Pa | 26 | 4.5 | 7 | ||
最大排气口压力(*4) | Pa | 266 | 200 | 270 | ||
旋转数 | min-1 | 37200 | 33700 | 27600 | ||
旋转数可変功能 | 泵的运转旋转数可以在规定旋转数的25%~100%之间变化。 (设定单位为0.1%) | |||||
启动时间 | 8分以内 | 9分以内 | 16分以内 | |||
安装方向 | 可全方位安装 | |||||
表面处理(*5) | 无 | |||||
外部控制 | 远程接口 | D-sub25内针 接点入输出 | D-sub37内针 接点入输出 | |||
串联接口 | 专用圆形连接器 RS232C/RS485 | D-sub9外针 RS232C/RS485 | ||||
控制器 | 构成 | 与泵的本体一体化(内置于底部) | ||||
电源 | 单相AC200 ~240V ±10%(50/60Hz ±2Hz) | |||||
最大所要动力 | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||
冷却方式 | 水冷 | |||||
冷却水(*6) | 流量 | L/min | 3~4 | |||
水圧 | MPaG | 0.2 ~ 0.4 | ||||
噪音 | dB(A) | 57 | 60 | |||
质量 | kg | 43 | 41 | 56 | 94 | |
推荐辅助泵(*7) | 600L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||
符合标准 | CE、TUVus | |||||
标准配件 | 吸气口用O-ring(仅VG),排气口用防尘罩,远程控制用连接器,使用说明书(CD-ROM) | |||||
选择规格 | AC电线 | AC连接器/AC电线(5m/10m/15m/20m) | ||||
泵固定用特殊螺栓 | M10(不符合RoHS/符合RoHS)/M12(不符合RoHS/符合RoHS) | |||||
泵固定用特殊螺栓要否 | 要(M10)(*8) | 不要(*8) | ||||
选项品 | 气口用适配器:KF10 |
*1:顺序表示。
*2:在没有保护网时的值。
*3:UTM2300A和UTM3400A为计算值。
*4:不能同时满足最大吸气口压力和最大排气口压力的条件。
*5:请勿使用反应性气体,腐蚀性气体。关于气体气体请咨询我们。
*6:不结露。
*7:30SCCM吸引时。
*8:螺栓的强度和固定方法等的各种条件,详细信息请参照规格书。