涡轮分子泵

UTM-MI 系列

UTM2300A

アルバック

采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化,实现了省配线,省空间。

特点

  • 泵体和控制器一体化
    泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。
  • 安装方向自由
    安装方向没有限制,扩展了设备设计的自由度。
  • 产品阵容涵盖排气速度1000 L / s至4000 L / s。
  • 广域大流量设计,适用于轻工艺
    泵速可以在25%至100%的范围内变化,腔室的压力可以调节。
  • 高耐久性和安全性
    已经通过各种安全确认测试,例如空气冲击测试和触地测试。

用途

  • 各种设备的主真空排气系统
    ・半导体制造设备
    ・蒸发设备
    ・溅射设备
    ・分析设备
    ・实验设备等
    ・研究开发设备
  • 不会生成副反应物的轻工艺的主排气系统
  • 替换设备上的有扩散泵
  • 其他一般高真空排气用途

规格


型号 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A
吸气口 VG150
ISO160F
VG200/VG250
ISO200F/ISO250F
VG250
ISO250F
VG300/VG350
ISO320F
排气口 KF40
极限压力(*1) Pa 10-7
排气速度 (*2)(*3) N2 L/s 1030 1400 2100 3200
Ar L/s 980 1330 2000 3100
H2 L/s 660 750 1380 2100
压缩比 N2 2×108 1×108 以上 1×109 以上
He 7×103 5×103 1×105
H2 8×102 9×102 6×103
最大吸气口圧力(*4) Pa 26 4.5 7
最大排气口压力(*4) Pa 266 200 270
旋转数 min-1 37200 33700 27600
旋转数可変功能 泵的运转旋转数可以在规定旋转数的25%~100%之间变化。 (设定单位为0.1%) 
启动时间 8分以内 9分以内 16分以内
安装方向 可全方位安装
表面处理(*5)
外部控制 远程接口 D-sub25内针 接点入输出 D-sub37内针 接点入输出
串联接口 专用圆形连接器 RS232C/RS485 D-sub9外针 RS232C/RS485
控制器 构成 与泵的本体一体化(内置于底部)
电源 单相AC200 ~240V ±10%(50/60Hz ±2Hz)
最大所要动力 0.75kVA 1.2kVA
冷却方式 水冷
冷却水(*6) 流量 L/min 3~4
水圧 MPaG 0.2 ~ 0.4
噪音 dB(A) 57 60
质量 kg 43 41 56 94
推荐辅助泵(*7) 600L/min以上 1500L/min以上
符合标准 CE、TUVus
标准配件 吸气口用O-ring(仅VG),排气口用防尘罩,远程控制用连接器,使用说明书(CD-ROM) 
选择规格 AC电线 AC连接器/AC电线(5m/10m/15m/20m)
泵固定用特殊螺栓 M10(不符合RoHS/符合RoHS)/M12(不符合RoHS/符合RoHS)
泵固定用特殊螺栓要否 要(M10)(*8) 不要(*8)
选项品 气口用适配器:KF10

*1:顺序表示。 
*2:在没有保护网时的值。 
*3:UTM2300A和UTM3400A为计算值。 
*4:不能同时满足最大吸气口压力和最大排气口压力的条件。
*5:请勿使用反应性气体,腐蚀性气体。关于气体气体请咨询我们。 
*6:不结露。 
*7:30SCCM吸引时。 
*8:螺栓的强度和固定方法等的各种条件,详细信息请参照规格书。

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