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校正漏孔

CLC

ULVAC

通过向微细孔中导入氦气,可以得到一定泄漏量的校正漏孔。校正方法准备了真空法校正和嗅探法校正两种。

规格

型号 泄露量 校正方法 规格圧力 接头
CLC-04A 10-4Pa・m3/s台 真空法校正和嗅探法校正两种 ⊿P = 0.1MPa(差圧0.1MPa) Φ18mm pipe(with Rc1/4)
CLC-05A 10-5Pa・m3/s台
CLC-06A 10-6Pa・m3/s台
※还可以将真空校正添加到嗅探校准的CLC

尺寸图

CLCー.png

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