校正漏孔
Model:CLC
ULVAC
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通过向微细孔中导入氦气，可以得到一定泄漏量的校正漏孔。校正方法准备了真空法校正和嗅探法校正两种。
规格
| 型号 | 泄露量 | 校正方法 | 规格圧力 | 接头 |
| CLC-04A | 10-4Pa･m3/s台 | 真空法校正和嗅探法校正两种 | ⊿P = 0.1MPa（差圧0.1MPa） | Φ18mm pipe(with Rc1/4) |
| CLC-05A | 10-5Pa･m3/s台 | |||
| CLC-06A | 10-6Pa･m3/s台 |
尺寸图
