校正漏孔
CLC
ULVAC
通过向微细孔中导入氦气,可以得到一定泄漏量的校正漏孔。校正方法准备了真空法校正和嗅探法校正两种。
规格
型号 | 泄露量 | 校正方法 | 规格圧力 | 接头 |
CLC-04A | 10-4Pa・m3/s台 | 真空法校正和嗅探法校正两种 | ⊿P = 0.1MPa(差圧0.1MPa) | Φ18mm pipe(with Rc1/4) |
CLC-05A | 10-5Pa・m3/s台 | |||
CLC-06A | 10-6Pa・m3/s台 |