校正漏孔
Model:CLM
ULVAC
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关于Model:CLM的介绍、购买、商讨
这是利用氦气透过玻璃 (透过材料) 的校正漏孔。(真空法校正)
规格
| 型号 | 泄露量 | 充气压力 | 接头 |
| CLM-07AY | 10-7Pa･m3/s台 | 261kPa(abs) | Φ18mm pipe(with ｍanual valve) |
| CLM-08A | 10-8Pa･m3/s台 | 251kPa(abs) | |
| CLM-09AZ | 10-9Pa･m3/s台 | 261kPa(abs) | |
| CLM-10A | 10-10Pa･m3/s台 | 101kPa(abs) |
HELIOT中内置的校正漏孔
| 型号 | 泄露量 | 封入圧力 | 适用机型 |
| CLM-08E | 10ｰ8Pa･m3/s台 | 251kPa(abs) | HELIOT710,700,300series |
| CLM-08F | 10-8Pa･m3/s台 | 251kPa(abs) | HELIOT900series |
尺寸图
CLM-08A, CLM-09AZ, CLM-10A
CLM-07AY
CLM-08F
CLM-08E
