校正漏孔
CLM
アルバック
这是利用氦气透过玻璃 (透过材料) 的校正漏孔。(真空法校正)
规格
型号 | 泄露量 | 充气压力 | 接头 |
CLM-07AY | 10-7Pa・m3/s台 | 261kPa(abs) | Φ18mm pipe(with manual valve) |
CLM-08A | 10-8Pa・m3/s台 | 251kPa(abs) | |
CLM-09AZ | 10-9Pa・m3/s台 | 261kPa(abs) | |
CLM-10A | 10-10Pa・m3/s台 | 101kPa(abs) |
HELIOT中内置的校正漏孔
型号 | 泄露量 | 封入圧力 | 适用机型 |
CLM-08E | 10ー8Pa・m3/s台 | 251kPa(abs) | HELIOT710,700,300series |
CLM-08F | 10-8Pa・m3/s台 | 251kPa(abs) | HELIOT900series |
尺寸图
CLM-08A, CLM-09AZ, CLM-10A
CLM-07AY
CLM-08F
CLM-08E