MF电源
用于双阴极溅射的MF电源。不仅金属膜，反应性成膜也能发挥威力。稳定的溅射是在阳极不消失的情况下实现的。
最大定格電力
定格電圧
用于双阴极溅射的MF电源。不仅金属膜，反应性成膜也能发挥威力。稳定的溅射是在阳极不消失的情况下实现的。
最大定格電力
定格電圧
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