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过程气体监测仪 Qulee BGM2 系列是适用于蒸镀设备和各类真空炉工艺的气体分析设备。非常适合用于泄漏监测、残留水分以及其他杂质的监测。实现了良品率的管理和生产效率的提高。

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BGM2-101 / 102

ULVAC的新型残留气体分析仪(RGA)，革命性的简单易操作。它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。最适合真空蒸发装置和各种真空炉的设备管理。

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基础工艺

BGM2-201 / 202

ULVAC的新型残留气体分析仪(RGA)，革命性的简单易操作。它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。最适合真空蒸发装置和各种真空炉的设备管理。

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