BGM2-101 / 102

アルバック

ULVAC的新型残留气体分析仪(RGA)，革命性的简单易操作。它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。最适合真空蒸发装置和各种真空炉的设备管理。

特点

Resolution M/△M=1M(10% P.H.)

Model	BGM2-101	BGM2-201	BGM2-102	BGM2-202
Mass filter type	Quadrupole
Mass range	1～100 amu	1～200 amu	1～100 amu	1～200 amu
Detector type	Faraday cup		EM tube Faraday cup
Sensitivity	10^-7A/Pa		4A/Pa
Minimum detectable partial pressure	10^-8Pa		10^-12Pa
Maximum operating pressure	1x10^-2Pa
Total pressure function	Capable/10^-2 〜10^-5Pa
One Click function	Capable /He/H₂O/N₂/O₂/Any gas
One Click leak test function	Capable
Power input	DC24V±10％　50W
Maximum sensor operating temperature	120℃ (248℉ )
Maximum bakeout temperature (electronics removed)	250℃ (482℉)
Operating temperature range	10 to 40℃ (50 to 104℉ )
Software	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
Applicable standard	CE

特点

性价比优异的通用规格

测量质量范围 1～100 amu

显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量

操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作

增强检漏功能

可以测量总压力

标准搭载Qulee QCS软件

符合CE

规格

Resolution M/△M=1M(10% P.H.)

Model	BGM2-101	BGM2-201	BGM2-102	BGM2-202
Mass filter type	Quadrupole
Mass range	1～100 amu	1～200 amu	1～100 amu	1～200 amu
Detector type	Faraday cup		EM tube Faraday cup
Sensitivity	10^-7A/Pa		4A/Pa
Minimum detectable partial pressure	10^-8Pa		10^-12Pa
Maximum operating pressure	1x10^-2Pa
Total pressure function	Capable/10^-2 〜10^-5Pa
One Click function	Capable /He/H₂O/N₂/O₂/Any gas
One Click leak test function	Capable
Power input	DC24V±10％　50W
Maximum sensor operating temperature	120℃ (248℉ )
Maximum bakeout temperature (electronics removed)	250℃ (482℉)
Operating temperature range	10 to 40℃ (50 to 104℉ )
Software	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
Applicable standard	CE