基本工艺

Qulee BGM2 系列

BGM2-202

アルバック

ULVAC的新型残留气体分析仪(RGA),革命性的简单易操作。它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。最适合真空蒸发装置和各种真空炉的设备管理。

特点

  • 显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量
  • 操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易,不需要复杂的操作
  • 过程监控不需要差动排气系统・・・可测量1Pa以下、更节省空间
  • 增强检漏功能
  • 可以测量总压力
  • 标准搭载Qulee QCS软件
  • 符合CE

用途

  • 真空蒸发设备和溅射设备等成膜设备的残留气体分析
  • 高真空排气设备的残留气体分析
  • 冷冻干燥设备的残留气体分析
  • 研究开发用途的各种气体分析

规格

Resolution M/△M=1M(10% P.H.)

Model BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202
Mass filter type Quadrupole
Mass range 1~100 amu 1~200 amu 1~100 amu 1~200 amu
Detector type Faraday cup EM tube
Faraday cup
Sensitivity 10-7A/Pa 4A/Pa
Minimum detectable partial pressure 10-8Pa 10-12Pa
Maximum operating pressure 1x10-2Pa
Total pressure function Capable/10-2 〜10-5Pa
One Click function Capable /He/H2O/N2/O2/Any gas
One Click leak test function Capable
Power input DC24V±10% 50W
Maximum sensor operating temperature 120℃ (248℉ )
Maximum bakeout temperature (electronics removed) 250℃ (482℉)
Operating temperature range 10 to 40℃ (50 to 104℉ )
Software Qulee QCS Ver.4 later (Windows 7/8/10)
Applicable standard CE

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可选部件・消耗品

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