基本工艺

Qulee with YTP-H 系列

Qulee with YTP-H BGM2-201

アルバック

带有差动排气系统的四极质谱仪( Q u l e e w i t h Y T P - H )是ULVAC结合Q u l e e的丰富实际成果和顾客的需求开发的,实现了功能的充实和使用的简易。
多种真空设备的工艺管理,残留气体分析到R&D都可广泛应用。

特点

  • 卓越的性价比 通过差分排气系统,可以在1台设备上实现从过程监控到残余气体分析(RGA)
  • 紧凑的设计 采用标准排气装置Desktop YTP的紧凑型设计
  • 显示部分一体化的设计 无需电脑也可进行测量
  • 操作简单 - One Click机能(对每个人来说都很容易,不需要复杂的操作)
  • 可以进行大气压分析 包括大气压分析在内,还有监测3000Pa,500Pa,100Pa,10Pa和1Pa的规格
  • 可根据应用选择型号 质量数1 ~ 100(BGM2-101/102)、1 ~ 200(BGM2-201/202)、 1 ~ 300(HGM2-302)
  • 低噪音: 运行时43dB(A)以下
  • 无需真空计专用显示器:真空计信号可以在操作屏上显示(真空计可选)
  • 完整的检漏功能 可以进行氦气检漏和漏气测试
  • Qulee可对应Ethernet 标准配有QCS(Ver.4) 软件(Windows 7/8/10)

用途

  • 研究开发用途的各种气体分析
  • 溅射设备、真空蒸发设备等工艺中的气体监测
  • 溅射设备、真空蒸发设备等的残留气体分析
  • 高真空排气设备的残留气体分析
  • 真空渗碳炉末端和氧浓度的确认
  • 冷冻干燥设备的干燥点和杂质的确认

Specifications

Qulee main body Select from Qulee BGM2-101/102/201/202, HGM2-302
Max sampling pressure Select from atmospheric pressure 3000Pa/500Pa/100Pa/10Pa/1Pa
Select from atmospheric pressure 22.5Torr/3.75Torr/0.75Torr/7.5×10⁻²Torr/7.5×10⁻³Torr
Select from atmospheric pressure 30mbar/5mbar/1mbar/0.1mbar/1.0×10⁻²mbar
Gas induction (500 to 1Pa type/3.75 to 7.5×10⁻³Torr type/5 to 1.0×10⁻²mbar type) Manual bellows valve・Flange ICF070
Atmospheric pressure type Please contact us for the detailed specification on separately.

Pump unit Desktop YTP

(YTP70A-D)

TMP Pumping speed 70L/s(N₂)
Dry pump Pumping speed 20L/min
Ultimate pressure Below 10⁻⁶Pa (7.5 × 10⁻⁹ Torr, 1.0 × 10⁻⁸ mbar) (value after TMP bale out)
Input voltage Single phase AC100 ~ 240V, 300W
Software Qulee QCS Ver.4.0 (Windows 7/8/10)
Optional accessories

Ioniation gauge package (SH-1, Sensor head cable 2m,Cross tube,Bolts,Gaskets),Carry cart,USB-LAN adapter,Switching hub(8 ports or 16 ports)

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