HGM2-202|Qulee HGM2 系列|高性能工艺|气体分析仪(工艺气体监测仪)|产品中心|ULVAC SHOWCASE

高性能工艺

Qulee HGM2 系列

HGM2-202

アルバック

Qulee HGM2是ULVAC新推出的Qulee系列残留气体分析仪(支持以太网通讯)的高端机型,在简单易用方面具有革命性意义。
实现2.5×10 -6 A/Pa(法拉第杯)的高灵敏度,满足从各种研发应用到真空设备过程控制的所有需求。

特点

  • 测量质量范围 1~200 amu
  • 各种研究和开发应用的理想选择 - 实现作为高端功能的最高感光度∀2.5×10-6A/Pa
  • 通讯接口 - 支持以太网通讯
  • 显示部分一体化的设计 无需电脑也可进行测量
  • 操作简单 - One Click机能(对每个人来说都很容易,不需要复杂的操作)
  • 烘焙兼容 - 连接传感器单元时可进行高达 250°C 的高温烘烤(传感器单元断开时:300°C)
  • 搭载DEGAS功能 - 采用电子冲击脱附法
  • 维护 - 易于更换灯丝、离子源和二次电子倍增器
  • 增强预防性维护功能 - 离子源和二次电子倍增器的预防性维护,配备分析管溯源功能(专利第5016031号)
  • 增强检漏功能 - 能够进行氦气泄漏测试、空气泄漏测试和累积测试
  • 可以测量总压力
  • 标准搭载Qulee QCS软件
  • 符合CE

用途

  • 热脱附分析等各种研究开发
  • 超高/超高真空抽气设备的残余气体分析等。
  • 气体中痕量杂质的测量
  • 与太阳能电池相关的研发
  • 有机分析
  • 环境测量

规格


Model HGM2-202 HGM2-302
Mass filter type Quadrupole
Mass range 1 ~ 200 amu 1 ~ 300 amu
Resolution M/ ΔM=1M(10% P.H.)
Detector type Faraday cup SEM Faraday cup SEM
Sensitivity 2.5×10-6 A/Pa @1.0A/Pa 4 A/Pa 2.0×10-6 A/Pa @1.0A/Pa 4 A/Pa
3.3×10-4 A/Torr 533 A/Torr 3.3×10-4 A/Torr 533 A/Torr
2.5×10-4 A/mbar 400 A/mbar 2.5×10-4 A/mbar 400 A/mbar
Minimum datectable partial pressure Approx. 10-9Pa Approx. 10-13Pa Approx. 10-9Pa Approx. 10-13Pa
Approx. 7.5×10-12 Torr Approx. 7.5×10-16 Torr Approx. 7.5×10-12 Torr Approx. 7.5×10-16 Torr
Approx. 1×10-11 mbar Approx. 1×10-12 mbar Approx. 1×10-11 mbar Approx. 1×10-12 mbar
Maximum operating pressure 1×10-2 Pa
7.5×10-3 Torr
1×10-4 mbar
Filament lr / Y2O3 , 2pcs
Ionizing voltage 25 ~ 70 eV(defalut:70eV)
Emission current 0.1mA/0.5mA/1.0mA(default:0.5mA)
DEGAS Electron bombard type 330V, 5mA
Total pressure function Capable / 10-2 ~ 10-5Pa
"One Click" function Capable / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
"One Click" leak test function Capable
Power input DC24V±10% 50W
Weight(sensor unit / sensor) 2.4kg/0.81kg
Maximum sensor operating temperature 250℃(482°F)
Maximum bakeout temperature
(elsectronisc removed)
300℃(572°F)
Operating temperature range 10 to 40℃(50 to 104°F)
Operating humigity range 15 ~ 80%(not condensing)
IP rating IP30(sensor unit)
Power connector MSTBV2.5/3-STF-5.08
Communication interface Ethernet compatible
External input / output connector D-sub15-pin (M2.6 screw)(eith option)
Communication connector RJ45
External input / output signal Analog input (0 to 10V)×2,External interlock input (pressure protection)×1,Error output ×1(FIL,SEM,RF,fault),Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
Software Qulee QCS Ver.4.2以降(Windows 8/10/11)适用
Standard accessories Power connector, LAN cable (3m long),Software (install CD),Instruction manual (CD)
Option accessories
(cf. Qulee optional catalogue)
LAN cable (10,15,20,30,50m long), AC power adapter, USB-LAN adapter, Switing hub(8ports or 16ports), Input / output connector, Jacket heater, Carry case
Applicable standard CE

※Please prepare an AC/DC power supply or please purchase the AC/DC adapter of an option.

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可选部件・消耗品

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