HGM2-302

アルバック

Qulee HGM2是ULVAC新推出的Qulee系列残留气体分析仪（支持以太网通讯）的高端机型，在简单易用方面具有革命性意义。
实现2.5×10 ^-6 A/Pa（法拉第杯）的高灵敏度，满足从各种研发应用到真空设备过程控制的所有需求。

特点

测量质量范围 1～300 amu
各种研究和开发应用的理想选择 - 实现作为高端功能的最高感光度∀2.5×10^-6A/Pa
通讯接口 - 支持以太网通讯
显示部分一体化的设计无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
烘焙兼容 - 连接传感器单元时可进行高达 250°C 的高温烘烤（传感器单元断开时：300°C）
搭载DEGAS功能 - 采用电子冲击脱附法
维护 - 易于更换灯丝、离子源和二次电子倍增器
增强预防性维护功能 - 离子源和二次电子倍增器的预防性维护,配备分析管溯源功能（专利第5016031号）
增强检漏功能 - 能够进行氦气泄漏测试、空气泄漏测试和累积测试
可以测量总压力
标准搭载Qulee QCS软件
符合CE

用途

热脱附分析等各种研究开发
超高/超高真空抽气设备的残余气体分析等。
气体中痕量杂质的测量
与太阳能电池相关的研发
有机分析
环境测量

规格

Model	HGM2-202		HGM2-302
Mass filter type	Quadrupole
Mass range	1 ~ 200 amu		1 ~ 300 amu
Resolution	M/ ΔM=1M(10% P.H.)
Detector type	Faraday cup	SEM	Faraday cup	SEM
Sensitivity	2.5×10^-6 A/Pa @1.0A/Pa	4 A/Pa	2.0×10^-6 A/Pa @1.0A/Pa	4 A/Pa
	3.3×10^-4 A/Torr	533 A/Torr	3.3×10^-4 A/Torr	533 A/Torr
	2.5×10^-4 A/mbar	400 A/mbar	2.5×10^-4 A/mbar	400 A/mbar
Minimum datectable partial pressure	Approx. 10^-9Pa	Approx. 10^-13Pa	Approx. 10^-9Pa	Approx. 10^-13Pa
	Approx. 7.5×10^-12 Torr	Approx. 7.5×10^-16 Torr	Approx. 7.5×10^-12 Torr	Approx. 7.5×10^-16 Torr
	Approx. 1×10^-11 mbar	Approx. 1×10^-12 mbar	Approx. 1×10^-11 mbar	Approx. 1×10^-12 mbar
Maximum operating pressure	1×10^-2Pa
	7.5×10^-3 Torr
	1×10^-4 mbar
Filament	lr / Y₂O₃, 2pcs
Ionizing voltage	25 ~ 70 eV(defalut:70eV)
Emission current	0.1mA/0.5mA/1.0mA(default:0.5mA)
DEGAS	Electron bombard type 330V, 5mA
Total pressure function	Capable / 10^-2 ~ 10^-5Pa
"One Click" function	Capable / He / H₂O / N₂/ O₂/ Any gas
"One Click" leak test function	Capable
Power input	DC24V±10% 50W
Weight(sensor unit / sensor)	2.4kg/0.81kg
Maximum sensor operating temperature	250℃(482°F)
Maximum bakeout temperature (elsectronisc removed)	300℃(572°F)
Operating temperature range	10 to 40℃(50 to 104°F)
Operating humigity range	15 ~ 80%(not condensing)
IP rating	IP30(sensor unit)
Power connector	MSTBV2.5/3-STF-5.08
Communication interface	Ethernet compatible
External input / output connector	D-sub15-pin (M2.6 screw)(eith option)
Communication connector	RJ45
External input / output signal	Analog input (0 to 10V)×2,External interlock input (pressure protection)×1,Error output ×1(FIL,SEM,RF,fault),Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
Software	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
Standard accessories	Power connector, LAN cable (3m long),Software (install CD),Instruction manual (CD)
Option accessories (cf. Qulee optional catalogue)	LAN cable (10,15,20,30,50m long), AC power adapter, USB-LAN adapter, Switing hub(8ports or 16ports), Input / output connector, Jacket heater, Carry case
Applicable standard	CE

※Please prepare an AC/DC power supply or please purchase the AC/DC adapter of an option.

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可选部件・消耗品

特点

测量质量范围 1～300 amu

各种研究和开发应用的理想选择 - 实现作为高端功能的最高感光度∀2.5×10^-6A/Pa

通讯接口 - 支持以太网通讯

显示部分一体化的设计无需电脑也可进行测量

操作简单 - One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）

烘焙兼容 - 连接传感器单元时可进行高达 250°C 的高温烘烤（传感器单元断开时：300°C）

搭载DEGAS功能 - 采用电子冲击脱附法

维护 - 易于更换灯丝、离子源和二次电子倍增器

增强预防性维护功能 - 离子源和二次电子倍增器的预防性维护,配备分析管溯源功能（专利第5016031号）

增强检漏功能 - 能够进行氦气泄漏测试、空气泄漏测试和累积测试

可以测量总压力

标准搭载Qulee QCS软件

符合CE

规格

Model	HGM2-202		HGM2-302
Mass filter type	Quadrupole
Mass range	1 ~ 200 amu		1 ~ 300 amu
Resolution	M/ ΔM=1M(10% P.H.)
Detector type	Faraday cup	SEM	Faraday cup	SEM
Sensitivity	2.5×10^-6 A/Pa @1.0A/Pa	4 A/Pa	2.0×10^-6 A/Pa @1.0A/Pa	4 A/Pa
	3.3×10^-4 A/Torr	533 A/Torr	3.3×10^-4 A/Torr	533 A/Torr
	2.5×10^-4 A/mbar	400 A/mbar	2.5×10^-4 A/mbar	400 A/mbar
Minimum datectable partial pressure	Approx. 10^-9Pa	Approx. 10^-13Pa	Approx. 10^-9Pa	Approx. 10^-13Pa
	Approx. 7.5×10^-12 Torr	Approx. 7.5×10^-16 Torr	Approx. 7.5×10^-12 Torr	Approx. 7.5×10^-16 Torr
	Approx. 1×10^-11 mbar	Approx. 1×10^-12 mbar	Approx. 1×10^-11 mbar	Approx. 1×10^-12 mbar
Maximum operating pressure	1×10^-2Pa
	7.5×10^-3 Torr
	1×10^-4 mbar
Filament	lr / Y₂O₃, 2pcs
Ionizing voltage	25 ~ 70 eV(defalut:70eV)
Emission current	0.1mA/0.5mA/1.0mA(default:0.5mA)
DEGAS	Electron bombard type 330V, 5mA
Total pressure function	Capable / 10^-2 ~ 10^-5Pa
"One Click" function	Capable / He / H₂O / N₂/ O₂/ Any gas
"One Click" leak test function	Capable
Power input	DC24V±10% 50W
Weight(sensor unit / sensor)	2.4kg/0.81kg
Maximum sensor operating temperature	250℃(482°F)
Maximum bakeout temperature (elsectronisc removed)	300℃(572°F)
Operating temperature range	10 to 40℃(50 to 104°F)
Operating humigity range	15 ~ 80%(not condensing)
IP rating	IP30(sensor unit)
Power connector	MSTBV2.5/3-STF-5.08
Communication interface	Ethernet compatible
External input / output connector	D-sub15-pin (M2.6 screw)(eith option)
Communication connector	RJ45
External input / output signal	Analog input (0 to 10V)×2,External interlock input (pressure protection)×1,Error output ×1(FIL,SEM,RF,fault),Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
Software	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
Standard accessories	Power connector, LAN cable (3m long),Software (install CD),Instruction manual (CD)
Option accessories (cf. Qulee optional catalogue)	LAN cable (10,15,20,30,50m long), AC power adapter, USB-LAN adapter, Switing hub(8ports or 16ports), Input / output connector, Jacket heater, Carry case
Applicable standard	CE

※Please prepare an AC/DC power supply or please purchase the AC/DC adapter of an option.