高性能工艺

Qulee HGM2 系列

HGM2-302

アルバック

带有差动排气系统的四极质谱仪( Q u l e e w i t h Y T P - H )是ULVAC结合Q u l e e的丰富实际成果和顾客的需求开发的,实现了功能的充实和使用的简易。
多种真空设备的工艺管理,残留气体分析到R&D都可广泛应用。

特点

  • 卓越的性价比 通过差分排气系统,可以在1台设备上实现从过程监控到残余气体分析(RGA)
  • 紧凑的设计 采用标准排气装置Desktop YTP的紧凑型设计
  • 显示部分一体化的设计 无需电脑也可进行测量
  • 操作简单 - One Click机能(对每个人来说都很容易,不需要复杂的操作)
  • 可以进行大气压分析 包括大气压分析在内,还有监测3000Pa,500Pa,100Pa,10Pa和1Pa的规格
  • 可根据应用选择型号 质量数1 ~ 100(BGM2-101/102)、1 ~ 200(BGM2-201/202)、 1 ~ 300(HGM2-302)
  • 低噪音: 运行时43dB(A)以下
  • 无需真空计专用显示器:真空计信号可以在操作屏上显示(真空计可选)
  • 完整的检漏功能 可以进行氦气检漏和漏气测试
  • Qulee可对应Ethernet 标准配有QCS(Ver.4) 软件(Windows 7/8/10)

用途

  • 研究开发用途的各种气体分析
  • 溅射设备、真空蒸发设备等工艺中的气体监测
  • 溅射设备、真空蒸发设备等的残留气体分析
  • 高真空排气设备的残留气体分析
  • 真空渗碳炉末端和氧浓度的确认
  • 冷冻干燥设备的干燥点和杂质的确认

Specifications


Model HGM2-202 HGM2-302
Mass filter type Quadrupole
Mass range 1 ~ 200 amu 1 ~ 300 amu
Resolution M/ ΔM=1M(10% P.H.)
Detector type Faraday cup SEM Faraday cup SEM
Sensitivity 2.5×10⁻⁶ A/Pa 4 A/Pa 2.0×10⁻⁶ A/Pa 4 A/Pa
3.3×10⁻⁴ A/Torr 533 A/Torr 3.3×10⁻⁴ A/Torr 533 A/Torr
2.5×10⁻⁴ A/mbar 400 A/mbar 2.5×10⁻⁴ A/mbar 400 A/mbar

Minimum datectable partial pressure

Approx. 10⁻⁹ Pa Approx. 10-13Pa Approx. 10⁻⁹ Pa Approx. 10-13Pa
Approx. 7.5×10-12 Torr Approx. 7.5×10-16 Torr Approx. 7.5×10-12 Torr Approx. 7.5×10-16 Torr
Approx. 1×10-11 mbar Approx. 1×10-12 mbar Approx. 1×10-11 mbar Approx. 1×10-12 mbar
Maximum operating pressure 1×10⁻²Pa
7.5×10⁻³ Torr
1×10⁻⁴ mbar
Filament lr / Y₂O₃, 2pcs
Ionizing voltage 25 ~ 70 eV(defalut:70eV)
Emission current 0.1mA/0.5mA/1.0mA(default:0.5mA)
DEGAS Electron bombard type 330V, 5mA
Total pressure function Capable / 10⁻² ~ 10⁻⁵Pa
"One Click" function Capable / He/H₂O/N₂/O₂/Any gas
"One Click" leak test function Capable
Power input DC24V±10% 50W
Weight(sensor unit / sensor) 2.4kg/0.81kg
Maximum sensor operating temperature 250℃(482℉)

Maximum bakeout temperature

(elsectronisc removed)

300℃(572℉)
Operating temperature range 10 to 40℃(50 to 104℉)
Operating humigity range 15 ~ 80%(not condensing)
IP rating IP30(sensor unit)
Power connector MSTBV2.5/3-STF-5.08
Communication interface Ethernet compatible
External input / output connector D-sub15-pin (M2.6 screw)(eith option)
Communication connector RJ45
External input / output signal Analog input (0 to 10V)×2,External interlock input (pressure protection)×1,Error output ×1(FIL,SEM,RF,fault),Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
Software Qulee QCS Ver.4.0 later (Windows 7/8/10)
Standard accessories Power connector,Communication cable (3m long),Software (install CD),Instruction manual (CD)

Option accessories

(cf. Qulee optional catalogue)

Communication cable (10,15,20,30,50m long), AC power adapter, USB-LAN adapter, Switing hub(8ports or 16ports), Input / output connector, Jacket heater, Carry case
Applicable standard CE

※Please prepare an AC/DC power supply or please purchase the AC/DC adapter of an option.

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