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高压工艺（溅射工艺）
Qulee CGM2 系列
CGM2-051
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ULVAC的新型工艺气体分析仪/工艺气体监控器(RGA)，同时实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。
它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。 最适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。
它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。 最适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。
特点
- 显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量
- 操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作
- 过程监控不需要差动排气系统・・・可测量1Pa以下、更节省空间
- 增强检漏功能
- 可以测量总压力
- 标准搭载Qulee QCS软件
- 符合CE
用途
- 溅射设备的残留气体分析、工艺监测、杂质管理 (H2O)
- 各种真空设备的检漏
规格
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
| 型号 | CGM-051 | CGM-052 |
| 质量分离方式 | 四极型质量分析仪 | |
| 质量数范围 | 1～50 amu | |
| 检出器 | 法拉第杯 | 二级电子倍增管／ 法拉第杯 |
| 感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa |
| 最小检知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa |
| 最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC) 1x10-2Pa(SEM) |
| 线性 | 1Pa | |
| 全压力测量功能 | 有 | |
| 一键检漏功能 | 有/He/H2O/N2/O2/Any gas | |
| 电源电压 | DC24V±10％ 50W | |
| 最大烘烤 可能温度 (传感器单元连接时) |
120℃ | |
| 最大烘烤 可能温度 (传感器单元移除时) |
250℃ | |
| 使用温度范围 | 10～40℃ | |
| 接口 | Ethernet | |
| 软件 | Qulee QCS Ver.4.0以降（Windows XP/7适用） | |
| 符合标准 | CE | |
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