高压工艺(溅射工艺)

Qulee CGM2 系列

CGM2-052

アルバック

ULVAC的新型工艺气体分析仪/工艺气体监控器(RGA),同时实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。
它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。 最适合溅射设备的工艺管理(提高品质、提高良率)。

特点

  • 显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量
  • 操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易,不需要复杂的操作
  • 过程监控不需要差动排气系统・・・可测量1Pa以下、更节省空间
  • 增强检漏功能
  • 可以测量总压力
  • 标准搭载Qulee QCS软件
  • 符合CE

用途

  • 溅射设备的残留气体分析、工艺监测、杂质管理 (H2O)
  • 各种真空设备的检漏

规格

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型号 CGM2-051 CGM2-052
质量分离方式 四极型质量分析仪
质量数范围 1~50 amu
检出器 法拉第杯 二级电子倍增管/
法拉第杯
感度 0.1uA/Pa 0.1mA/Pa
最小检知分圧 1x10-7Pa 1x10-10Pa
最大使用圧力 2Pa 2Pa(FC)
1x10-2Pa(SEM)
线性 1Pa
全压力测量功能
一键检漏功能 有/He/H2O/N2/O2/Any gas
电源电压 DC24V±10% 50W
最大烘烤
可能温度
(传感器单元连接时)
120℃
最大烘烤
可能温度
(传感器单元移除时)
250℃
使用温度范围 10~40℃
接口 Ethernet
软件 Qulee QCS Ver.4.0以降(Windows XP/7适用)
符合标准 CE

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