高压工艺(溅射工艺)
Qulee CGM2 系列
CGM2-101 / 102
アルバック
新型工艺气体分析仪(RGA),实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中,最适合溅射设备的工艺管理(提高品质、提高良率)。
特点
- 适用于各种溅射系统的工艺监控
- Air Leak监控
- 残留水分管理
- 清洗液残留物
- Galden® 和其他制冷剂泄漏
- 残余碳氢化合物监测
- 无需差动排气系统(less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar)
- 内置显示屏:无需PC可单独操作使用
- 可进行高灵敏度泄漏测试(CGM2-102)
- 可进行全压测定
- 操作简单-One Click功能
- 标配Qulee QCS软件
- 支持CE标准
用途
- 适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H2O)。
- 用于溅射设备的泄漏测试。
规格
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
型号 | CGM-051 | CGM2-101 | CGM-052 | CGM2-102 |
质量分离方式 | 四极型质量分析仪 | |||
质量数范围 | 1~50 amu | 1~100 amu | 1~50 amu | 1~100 amu |
检出器 | 法拉第杯 | 二级电子倍增管/法拉第杯 | ||
感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
最小检知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa | ||
最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM) | ||
线性 | 1Pa | |||
全压力测量功能 | 有 | |||
一键检漏功能 | 有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
电源电压 | DC24V±10% 50W | |||
最大烘烤可能温度 (传感器单元连接时) |
120℃ | |||
最大烘烤可能温度 (传感器单元移除时) |
250℃ | |||
使用温度范围 | 10~40℃ | |||
接口 | Ethernet | |||
软件 | Qulee QCS Ver.4.2以降(Windows 8/10/11)适用 | |||
符合标准 | CE |
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