高压工艺(溅射工艺)

Qulee CGM2 系列

CGM2-101 / 102

アルバック

新型工艺气体分析仪(RGA),实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中,最适合溅射设备的工艺管理(提高品质、提高良率)。

特点

  • 适用于各种溅射系统的工艺监控
  • Air Leak监控
  • 残留水分管理
  • 清洗液残留物
  • Galden® 和其他制冷剂泄漏
  • 残余碳氢化合物监测
  • 无需差动排气系统(less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar)
  • 内置显示屏:无需PC可单独操作使用
  • 可进行高灵敏度泄漏测试(CGM2-102)
  • 可进行全压测定
  • 操作简单-One Click功能
  • 标配Qulee QCS软件
  • 支持CE标准

用途

  • 适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H2O)。
  • 用于溅射设备的泄漏测试。

规格

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型号 CGM-051 CGM2-101 CGM-052 CGM2-102
质量分离方式 四极型质量分析仪
质量数范围 1~50 amu 1~100 amu 1~50 amu 1~100 amu
检出器 法拉第杯 二级电子倍增管/法拉第杯
感度 0.1uA/Pa 0.1mA/Pa
最小检知分圧 1x10-7Pa 1x10-10Pa
最大使用圧力 2Pa 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM)
线性 1Pa
全压力测量功能
一键检漏功能 有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
电源电压 DC24V±10% 50W
最大烘烤可能温度
(传感器单元连接时)
120℃
最大烘烤可能温度
(传感器单元移除时)
250℃
使用温度范围 10~40℃
接口 Ethernet
软件 Qulee QCS Ver.4.2以降(Windows 8/10/11)适用
符合标准 CE

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可选部件・消耗品

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