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溅射工艺

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过程气体监测仪 Qulee CGM2 系列是适用于溅射工艺的气体分析设备。非常适合用于泄漏监测、残留水分以及其他杂质的监测。实现了良品率的管理和生产效率的提高。

溅射工艺

CGM2-051 / 052

新型工艺气体分析仪(RGA)，实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中，最适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。

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溅射工艺

CGM2-101 / 102

新型工艺气体分析仪(RGA)，实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中，最适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。

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