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溅射工艺

Qulee CGM2 系列

CGM2-101 / 102

アルバック

新型工艺气体分析仪(RGA)，实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中，最适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。

特点

适用于各种溅射系统的工艺监控
Air Leak监控
残留水分管理
清洗液残留物
Galden® 和其他制冷剂泄漏
残余碳氢化合物监测
无需差动排气系统（less than 1 Pa at 7.5 x 10^-3Torr/1 x 10^-2 mbar）
内置显示屏：无需PC可单独操作使用
可进行高灵敏度泄漏测试（CGM2-102）
可进行全压测定
操作简单-One Click功能
标配Qulee QCS软件
支持CE标准

用途

适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H₂O)。
用于溅射设备的泄漏测试。

规格

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型号	CGM-051	CGM2-101	CGM-052	CGM2-102
质量分离方式	四极型质量分析仪
质量数范围	1～50 amu	1～100 amu	1～50 amu	1～100 amu
检出器	法拉第杯		二级电子倍增管／法拉第杯
感度	0.1uA/Pa		0.1mA/Pa
最小检知分圧	1x10^-7Pa		1x10^-10Pa
最大使用圧力	2Pa		2Pa(FC)1x10^-2Pa(SEM)
线性	1Pa
全压力测量功能	有
Degas function	Electron bombard type 300V, 5mA
一键检漏功能	有 / He / H₂O / N₂/ O₂/ Any gas
电源电压	DC24V±10％　50W
最大烘烤可能温度 (传感器单元连接时)	120℃
最大烘烤可能温度 (传感器单元移除时)	250℃
使用温度范围	10～40℃
接口	Ethernet
软件	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
符合标准	CE

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可选部件・消耗品

溅射工艺

Qulee CGM2 系列

CGM2-101 / 102

新型工艺气体分析仪(RGA)，实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中，最适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。

特点

适用于各种溅射系统的工艺监控
Air Leak监控
残留水分管理
清洗液残留物
Galden® 和其他制冷剂泄漏
残余碳氢化合物监测
无需差动排气系统（less than 1 Pa at 7.5 x 10^-3Torr/1 x 10^-2 mbar）
内置显示屏：无需PC可单独操作使用
可进行高灵敏度泄漏测试（CGM2-102）
可进行全压测定
操作简单-One Click功能
标配Qulee QCS软件
支持CE标准

用途

适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H₂O)。
用于溅射设备的泄漏测试。

规格

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型号	CGM-051	CGM2-101	CGM-052	CGM2-102
质量分离方式	四极型质量分析仪
质量数范围	1～50 amu	1～100 amu	1～50 amu	1～100 amu
检出器	法拉第杯		二级电子倍增管／法拉第杯
感度	0.1uA/Pa		0.1mA/Pa
最小检知分圧	1x10^-7Pa		1x10^-10Pa
最大使用圧力	2Pa		2Pa(FC)1x10^-2Pa(SEM)
线性	1Pa
全压力测量功能	有
Degas function	Electron bombard type 300V, 5mA
一键检漏功能	有 / He / H₂O / N₂/ O₂/ Any gas
电源电压	DC24V±10％　50W
最大烘烤可能温度 (传感器单元连接时)	120℃
最大烘烤可能温度 (传感器单元移除时)	250℃
使用温度范围	10～40℃
接口	Ethernet
软件	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
符合标准	CE