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RF电源选配件
EXN 系列
EXN2M-70W
アルバック
EXN系列是阴极切换器，可用于将电源供应切换到多个直流溅射电极和射频溅射电极，或将多个直流电源或射频电源的输出切换到一个电极。
特点
- 可以切换匹配器的输出。
- 不需要为每个阴极单独安装匹配器，大幅降低了设备成本。
- 有两种类型的切换方式：手动和电机驱动。 此外，我们还准备了对应更高功率的水冷系统。
- 还可以作为DC电源，DC电源输出切换器使用。
- 只有一个匹配器，不能超出匹配范围的负荷下使用。
规格
| 规格 | 水冷目标更换器 规格 | |||||
| EXN2T-70W | EXN3T-70W | EXN4T-70W | EXN2M-70W | EXN3M-70W | EXN4M-70W | |
| 切换接点数 | 2个 | 3个 | 4个 | 2个 | 3个 | 4个 |
| 热开关 | 不可 | |||||
| 使用频率 | DC-13.56MHz | |||||
| 额定传导电流 | 70A | |||||
| 耐电压 | 接点间 AC 10kV 1分（50/60Hz） | |||||
| 接点-GND间 AC 10kV 1分（50/60Hz） | ||||||
| 切换方式 | 手动式 | 电动式 | ||||
| 电机额定功率 | DC24V | |||||
| 电机额定电流 | 0.22A (0.75Amax) | |||||
| 接点位置输出 | 微动开关（接点容量 0.25A 24VDC） | |||||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||
| 冷却流量 | 5L/min | |||||
| 耐圧 | 0.5MPa | |||||
| 适配 | 3/8inch N2管接头 | |||||
| 高频连接用端子 | O4mm螺栓 | |||||
| 安装现场温度 | 5℃～35℃ | |||||
| 安装现场湿度 | 30%～80% (不结露) | |||||
