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RF电源选配件

EXN 系列

EXN2T-70W

ULVAC

EXN系列是阴极切换器,可用于将电源供应切换到多个直流溅射电极和射频溅射电极,或将多个直流电源或射频电源的输出切换到一个电极。


特点

  • 可以切换匹配器的输出。
  • 不需要为每个阴极单独安装匹配器,大幅降低了设备成本。
  • 有两种类型的切换方式:手动和电机驱动。 此外,我们还准备了对应更高功率的水冷系统。
  • 还可以作为DC电源,DC电源输出切换器使用。
  • 只有一个匹配器,不能超出匹配范围的负荷下使用。

规格

规格 水冷目标更换器 规格
EXN2T-70W EXN3T-70W EXN4T-70W EXN2M-70W EXN3M-70W EXN4M-70W
切换接点数 2个 3个 4个 2个 3个 4个
热开关 不可
使用频率 DC-13.56MHz
额定传导电流 70A
耐电压 接点间 AC 10kV 1分(50/60Hz)
接点-GND间 AC 10kV 1分(50/60Hz)
切换方式 手动式 电动式
电机额定功率 DC24V
电机额定电流 0.22A (0.75Amax)
接点位置输出 微动开关(接点容量 0.25A 24VDC)
冷却方式 水冷
冷却流量 5L/min
耐圧 0.5MPa
适配 3/8inch N2管接头
高频连接用端子 O4mm螺栓
安装现场温度 5℃~35℃
安装现场湿度 30%~80% (不结露)

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