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RF电源选配件

MEX-N 系列

MEX6N-3k

アルバック

RF溅射、等离子CVD、蚀刻等工艺中,产生等离子用电源的匹配箱用切换机。

特点

  • 可以切换多个匹配器。
  • 可以在不同时放电时使用,设备中安装的电源的数量减少,有助于降低设备的成本。
  • 每个阴极都有一个匹配器,因此可以选择具有不同阻抗的阴极。

规格

容量帯 匹配器切换台数
2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台
500, 1kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k
3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k
5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k - - - -

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可选部件・消耗品

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