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RF电源选配件
MEX-N 系列
MEX6N-3k
アルバック
RF溅射、等离子CVD、蚀刻等工艺中，产生等离子用电源的匹配箱用切换机。
特点
- 可以切换多个匹配器。
- 可以在不同时放电时使用，设备中安装的电源的数量减少，有助于降低设备的成本。
- 每个阴极都有一个匹配器，因此可以选择具有不同阻抗的阴极。
规格
| 容量帯 | 匹配器切换台数 | ||||||
| ２台 | ３台 | ４台 | ５台 | ６台 | ７台 | ８台 | |
| 500, 1kW | MEX2N-1k | MEX3N-1k | MEX4N-1k | MEX5N-1k | MEX6N-1k | MEX7N-1k | MEX8N-1k |
| 3kW | MEX2N-3k | MEX3N-3k | MEX4N-3k | MEX5N-3k | MEX6N-3k | MEX7N-3k | MEX8N-3k |
| 5kW | MEX2N-5k | MEX3N-5k | MEX4N-5k | - | - | - | - |
