RF电源 / 匹配切换机
MBX-N 系列
アルバック
RFS系列专用匹配箱。
| 配器器形式 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N |
| 允许的输入功率 | 30～500W | 30～1000W | 30～3000W | 50～5000W |
| 允许的输出功率 | 30A | 80A | 120A | |
| 允许的输出电压 | 2.5kVpp | 5kVpp | 10kVpp | |
| 冷却方式 | 强制空冷 | 水冷（2L/min） | ||
| 外形尺寸 W×D×H | 375×250×120mm（不含凸起部分） | 375×250×170mm （不含凸起部分） |
450×500×248mm （不含凸起部分） |
|
| 重量 | 8kg | 10kg | 21kg | |
| 符合标准 | CE | |||
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ULVAC SHOWCASE
RFS系列专用匹配箱。
| 配器器形式 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N |
| 允许的输入功率 | 30～500W | 30～1000W | 30～3000W | 50～5000W |
| 允许的输出功率 | 30A | 80A | 120A | |
| 允许的输出电压 | 2.5kVpp | 5kVpp | 10kVpp | |
| 冷却方式 | 强制空冷 | 水冷（2L/min） | ||
| 外形尺寸 W×D×H | 375×250×120mm（不含凸起部分） | 375×250×170mm （不含凸起部分） |
450×500×248mm （不含凸起部分） |
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| 重量 | 8kg | 10kg | 21kg | |
| 符合标准 | CE | |||
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