成膜设备可选部件 底座加热装置350℃
ULVAC
关于底座加热装置350℃的介绍、购买、商讨
特点
基板(试料)加热用/设定温度350°C(Max)
规格
■基板加热用加热台和测量机器组合单元。
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基板(试料)加热用/设定温度350°C(Max)
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