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成膜设备可选部件

其他

底座加热装置350℃

アルバック



加热基板的加热台与计量器一起的组合装置。



特点

基板(试料)加热用/设定温度350°C(Max)

规格

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■基板加热用加热台和测量机器组合单元。

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