成膜设备可选部件
其他
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形状变化取决于电极构造。
| 名称 | 用途 |
| 钟罩盖 | 玻璃钟罩用手柄／防止玻璃飞散 |
| 钟罩支架 | 玻璃钟罩用手柄 |
| 玻璃钟罩 | 成膜用玻璃容器 |
| 金属钟罩（附水冷盘管） | 钟罩防止内部过热 （昇降设备请另外购买） |
| 昇降设备 | 钟罩の升降用 （钟罩盖请另外购买） |
| 馈通圈16端口 | 导入端口增设 |
| 控制操作盘 | 控制机器收纳 |
| 侧面板（控制操作盘用） | 安全规定 |
| 背板（控制操作盘用） | 安全规定 |
※桌面型蒸发设备，仅可对应钟罩盖和玻璃钟罩。
※形状根据电极的构成而改变
■用于防止污染相邻电极。
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形状变化取决于电极构造。
| 名称 | 用途 |
| 钟罩盖 | 玻璃钟罩用手柄／防止玻璃飞散 |
| 钟罩支架 | 玻璃钟罩用手柄 |
| 玻璃钟罩 | 成膜用玻璃容器 |
| 金属钟罩（附水冷盘管） | 钟罩防止内部过热 （昇降设备请另外购买） |
| 昇降设备 | 钟罩の升降用 （钟罩盖请另外购买） |
| 馈通圈16端口 | 导入端口增设 |
| 控制操作盘 | 控制机器收纳 |
| 侧面板（控制操作盘用） | 安全规定 |
| 背板（控制操作盘用） | 安全规定 |
※桌面型蒸发设备，仅可对应钟罩盖和玻璃钟罩。
※形状根据电极的构成而改变
■用于防止污染相邻电极。
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