成膜设备可选部件
其他
金属钟罩
アルバック
规格
设备外部系统
名称 | 用途 |
钟罩盖 | 玻璃钟罩用手柄/防止玻璃飞散 |
钟罩支架 | 玻璃钟罩用手柄 |
玻璃钟罩 | 成膜用玻璃容器 |
金属钟罩(附水冷盘管) | 钟罩防止内部过热 (昇降设备请另外购买) |
昇降设备 | 钟罩升降用 (钟罩盖请另外购买) |
馈通圈16端口 | 导入端口增设 |
控制操作盘 | 控制机器收纳 |
侧面板(控制操作盘用) | 安全规定 |
背板(控制操作盘用) | 安全规定 |
※桌面型蒸发设备,仅可对应钟罩盖和玻璃钟罩。
■防止钟罩过热