成膜设备可选部件 Model:PSE
ULVAC
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规格
PSE-150C
| 电压 | AC １00V 单相 0.8kVA（50/60Hz）允许电压变动范围＝±10％ |
| 负荷电流 | Max. 80A |
| 控制信号 | 外部自动控制输入 DC-0～10V/0～100％设定接收阻抗 1MΩ |
| 电力控制方式 | 晶闸管交流相位控制系统（输出稳定精度：±10％・输出变动±2％） |
| 定格 | 30分 |
| 外形尺寸 | 480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（不包括突起部分和配件） |
| 质量 | 约24kg |
选项
| 标准代码 | PSE- 15C11111 |
PSE- 15C21111 |
PSE- 15C31111 |
PSE- 15C12211 |
PSE- 15C22211 |
PSE- 15C32211 |
| 输出位置切换功能 | 1点切换 | 2点切换 | 3点切换 | 1点切换 | 2点切换 | 3点切换 |
| 小电力切换功能 | 无 | 无 | 无 | 有 | 有 | 有 |
| 通过成膜控制器自动控制 | 无 | 无 | 无 | 有 | 有 | 有 |
| 通过温度指示调节器自动控制 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 |
| 输出遥控 | 选项 | 选项 | 选项 | 选项 | 选项 | 选项 |
标准代码
| 項目 | 代码 | 规格 |
| 1. 系列 | PSE- | 抵抗加热式真空蒸着设备用蒸发电源、面板安装系统、数字显示 |
| 2. 电源容量→ 输出容量可以选择。 | 8 | 输入：单相100V、输出：80A（max） 0～10V 0.8kVA（max）※注１ |
| 5 | 输入：单相200V、输出：150A（max） 0～10V 1.5kVA（max） | |
| 3. 控制方式 | C | 自动定输出反馈控制（恒定电流/定电压/定电力 选择方式） |
| 4. 输出位置切换功能 → 可根据蒸发源的电极构成进行选择。 |
1 | 无：１点 |
| 2 | ２点切换 | |
| 3 | ３点切换 | |
| 5. 小电力切换功能→ 可应用于有机物等小型输出调整 |
1 | 无 |
| 2 | 低输出（0～50A）/高输出（0～150A）变压器切换 | |
| 6. 自动控制器功能 → 具有通过成膜控制器自动控制输出的功能。 |
1 | 无：手动調整 |
| 2 | 具有膜厚仪输出自动控制功能（固定） | |
| 3 | 通过膜厚仪或温度调节计，可以具有自动输出控制功能（切换） | |
| 7. 内置温度指示调节计 → 具有通过温度调节计自动进行输出控制的功能。 |
1 | 无 |
| 2 | 有（ＰＩＤ控制方式）※注２ | |
| 8. 输出遥控→ 监视真空槽内的同时有效地进行输出调整 | 2 | 无 |
| 2 | 有（ＯＮ/ＯＦＦ、ＵＰ/ＤＯＷＮ操作） |
※注1 可对应输出位置切换功能、膜厚仪自动功能、输出遥控（小电力功能／温度自动功能／温調計功能不能对应）
※注2 仅自动控制器功能 [３] 选择时适用
