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小型 蒸发设备
DEPOX 系列
VTR-060M/ERH
アルバック
将架台上的分子泵・辅助泵紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
适用于清洁排气的基础研究开发等实验用途。
特点
- 台式,小型尺寸可以节省空间。
- 配备涡轮分子泵。
- 只需操作开关,即可实现高真空排气。
- 具有可扩展性,可进行多层镀膜,基板旋转。
- 适合低熔点金属镀膜。
规格
| 型式 | VTR-060M/ERH | |
| 真空性能 | 极限压力 | 10-４台（真空层内无负荷清洁时） 1.5×10-３Pa（选项规格） |
| 排气时间 | 4.0×10-３Pa/20min（真空槽内无负荷清洁时） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 圆柱形玻璃腔室（Φ236mm×Ｈ250mm) |
| 基板 | 7端口（底面） | |
| 基板尺寸・最大尺寸 | □25mm ・ □50mm（Max） | |
| 电源系统 | 蒸发电极构成 | 1点式 |
| 蒸发电源・数量 | SEREM/PSE-150C・1式 0～10V 80A (MAX) |
|
| 排气系统 | 主泵 | 分子泵(空冷) 60Ｌ/sec |
| 補助泵 | 油回转泵 20L/min | |
| 油雾捕集器 | OMT-050A | |
| 操作系统 | 主阀 | 选项（蝶阀） |
| 補助阀 | 选项（三通阀） | |
| 自动泄露阀 | 选项（电磁阀） | |
| 真空槽排气阀 | 选项（泄露口） | |
| 操作 | 手动 | |
| 控制系统 | 真空计 | 选项 (ISG1) |
| 膜厚計 | 选项 (CRTM-6000G) | |
| 设置 | 最大尺寸 本体 | 428mm(W)×438mm(D)×713mm(H) |
| 电源 | 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H) | |
| 质量 本体 | 50Kg | |
| 电源 | 24Kg | |
效用
| 型式 | VTR-060M/ERH | |
| 所要时间 | 本体 | 100Ｖ 单相 50/60Hz 0.6kVA |
| 电源 | 100Ｖ 单相 50/60Hz 0.8kVA | |
| 组合连接 | 本体 1Φ 100V | 橡胶绝缘软性电缆（带插头）4m |
| 电源 1Φ 200V | 橡胶绝缘软性电缆（带插头） 4m | |
※请准备2个系统的接地插座。
尺寸图
VTR-060M/ERH
蒸发电源 SEREM
真空槽内部构成
基本构成
