小型蒸发设备 VPC-061A
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将管架上的主泵・辅助泵・阀门配管・电气系统・圧力测量口等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
适用于小基板尺寸的基础研究开发等实验用途。
特点
- 桌面紧凑型，可节省安装空间。
- 玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。
- 可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。
- 停电时会自动开启泄露阀，以保护主泵。
规格
| 型式 | VPC-061A | |
| 真空性能 | 极限压力 | 1.3×10-３Pa 6.6×10-４Pa（液体氮气使用时） |
| 排气时间 | 4.0×10-３Pa/20min 1.3×10-３Pa/20min（液体氮气使用时） |
|
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃钟罩（内径Φ150mm×高200mm) |
| 馈通圈 | 3端口(底面3) | |
| 基板推荐尺寸・最大尺寸※1 | □25mm ・ □50mm（Max） | |
| 电源系统 | 蒸发电极构成 | 1点式 |
| 蒸发电源・数量 | SEREM PSE-150C・1 式 0～10V 150A（Max) |
|
| 排气系统 | 主泵 | 油扩散泵（空冷） 50L/sec |
| 液体氮气捕集器 | 有 | |
| 補助泵 | 油回转泵 20L/min | |
| 油雾捕集器 | 选项 | |
| 操作系统 | 主阀 | 蝶阀 |
| 補助阀 | 三通阀e | |
| 自动泄露阀 | 有 | |
| 操作 | 手动 | |
| 控制系统 | 皮拉尼真空计 | 选项 |
| 电离真空计 | 选项 | |
| 设置 | 最大尺寸 本体 | 434mm(W)×422mm(D)×673mm(H) |
| 电源 | 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H) | |
| 质量 本体 | 32kg | |
| 电源 | 40kg | |
※1：最大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。
效用
| 型式 | VPC-061 | |
| 所要时间 | 本体 | 100V 单相 50/60Hz 0.63kVA |
| 电源 | 200V 单相 50/60Hz 1.5kVA | |
| 接地端子 | D种 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 组合连接 | 本体 1Φ 100V | 橡胶绝缘软性电缆（带插头） 2m |
| 电源 1Φ 200V | 橡胶绝缘软性电缆（带R2.0-5接压端子） 2m | |
尺寸图
蒸发电源 SEREM
真空槽内部构成
基本构成
