小型 蒸发设备
VPC 系列
VPC-1100
アルバック
将架台上的油扩散泵,油回转泵,皮拉尼真空计,阀门配管,电气系统,压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的,配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。
适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。
特点
- 玻璃钟罩更容易看到内部,有良好的操作性。
- 可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。
- 通过追加蒸发电源和电极,可同时蒸发或多层蒸发。
- 更改为EB规格,可成膜高熔点的材料。
- 蒸发设备带有脚轮,移动更为容易。
- 带有调节器,可确保设置的安全性。
规格
型式 | VPC-1100 | |
真空性能 | 极限压力 | 4.0×10-4Pa 1.3×10-4Pa(液体氮气使用时) |
排气时间 | 4.0×10-3Pa/10min 10-4Pa台/10min(液体氮气使用时) |
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真空槽 | 真空槽 | 玻璃钟罩(内径Φ390mm×高350mm) |
馈通圈 | 20端口(側面14/底面6) | |
基板推荐尺寸・最大尺寸※1 | □50mm ・ □220mm(Max) | |
电源系统 | 蒸发电极构成 | 3点式 |
蒸发电源・数量 | SEREM PSE-150C・1 式 0~10V 150A(Max) |
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排气系统 | 主泵※2 | 油扩散泵(水冷) 1100L/sec |
液体氮气捕集器 | 有 | |
補助泵 | 油回转泵 200L/min、2台 | |
油雾捕集器 | 选项 | |
操作系统 | 主阀 | 蝶阀 |
補助阀 | 三通阀 | |
自动泄露阀 | 选项 | |
操作 | 手动 | |
控制系统 | 皮拉尼真空计 | GP-1G |
电离真空计 | 选项 | |
设置 | 最大尺寸 本体 | 1235mm(W)×836mm(D)×2155mm(H) |
电源 | 设备本体收纳 | |
质量 本体 | 313kg | |
电源 | 设备本体收纳 |
※1:最大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。
※2:准备了分子泵(TMP)的规格
效用
型式 | VPC-1100 | |
所要时间 | 本体 | 200V 3相 50/60Hz 5.0kVA |
电源 | 100V 单相 50/60Hz 1.0kVA | |
接地端子 | D种 (接地抵抗値 100Ω以下) | |
组合连接 | 本体 3Φ 200V | 橡胶绝缘软性电缆(带R3.5-4压着端子) 4m |
电源 1Φ 100V | 橡胶绝缘软性电缆(带插头) 4m | |
所要水量 | 1.5 L/min (水温:20~25℃、水圧:200kPa (表压)) | |
组合连接 (ソケット) | Rp1/4 (带有可触摸式配件) | |
推荐软管※ | 涤纶软管(内径9mm×外径15mm) |
※冷却水配管,请客户自行准备。
尺寸图
VPC-1100
![zu_vpc1100.gif](../../../../../en/products/img/zu_vpc1100e.gif)
蒸发电源 SEREM
![ph_pse150c.jpg](../../../../../ja/products/img/ph_pse150c.jpg)
真空槽内部构成
基本构成
![zu_vpc1100_feed.gif](../../../../../ja/products/img/zu_vpc1100_feed.gif)
※我们将根据您的研发目的进行定制。
[1] | 器皿 |
[2] | 过滤器 |
[3] | 服务端口(L) |
[4] | 服务端口(S) |
[5] | ゲージ端口 |
[6] | ハーメチック端口 |
[7] | シャッター |
[8] | 电极コモン |
[9] | 电极 1 |
[10] | 电极 2 |
[11] | 电极 3 |