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小型 蒸发设备
VPC 系列
VPC-1100
アルバック
将架台上的油扩散泵，油回转泵，皮拉尼真空计，阀门配管，电气系统，压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的，配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。
适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。
特点
- 玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。
- 可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。
- 通过追加蒸发电源和电极，可同时蒸发或多层蒸发。
- 更改为EB规格，可成膜高熔点的材料。
- 蒸发设备带有脚轮，移动更为容易。
- 带有调节器，可确保设置的安全性。
规格
| 型式 | VPC-1100 | |
| 真空性能 | 极限压力 | 4.0×10-４Pa 1.3×10-４Pa（液体氮气使用时） |
| 排气时间 | 4.0×10-３Pa/10min 10-４Pa台/10min（液体氮气使用时） |
|
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃钟罩（内径Φ390mm×高350mm) |
| 馈通圈 | 20端口(側面14/底面6) | |
| 基板推荐尺寸・最大尺寸※1 | □50mm ・ □220mm（Max） | |
| 电源系统 | 蒸发电极构成 | 3点式 |
| 蒸发电源・数量 | SEREM PSE-150C・1 式 0～10V 150A（Max) |
|
| 排气系统 | 主泵※2 | 油扩散泵（水冷） 1100L/sec |
| 液体氮气捕集器 | 有 | |
| 補助泵 | 油回转泵 200L/min、2台 | |
| 油雾捕集器 | 选项 | |
| 操作系统 | 主阀 | 蝶阀 |
| 補助阀 | 三通阀 | |
| 自动泄露阀 | 选项 | |
| 操作 | 手动 | |
| 控制系统 | 皮拉尼真空计 | GP-1G |
| 电离真空计 | 选项 | |
| 设置 | 最大尺寸 本体 | 1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H） |
| 电源 | 设备本体收纳 | |
| 质量 本体 | 313kｇ | |
| 电源 | 设备本体收纳 | |
※1：最大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。
※2：准备了分子泵（TMP）的规格
效用
| 型式 | VPC-1100 | |
| 所要时间 | 本体 | 200V 3相 50/60Hz 5.0kVA |
| 电源 | 100V 单相 50/60Hz 1.0kVA | |
| 接地端子 | Ｄ种 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 组合连接 | 本体 3Φ 200V | 橡胶绝缘软性电缆（带R3.5-4压着端子） 4m |
| 电源 1Φ 100V | 橡胶绝缘软性电缆（带插头） 4m | |
| 所要水量 | 1.5 L／min （水温：20～25℃、水圧：200kPa （表压）） | |
| 组合连接 （ソケット） | Rp1/4 （带有可触摸式配件） | |
| 推荐软管※ | 涤纶软管（内径9mm×外径15mm） | |
※冷却水配管，请客户自行准备。
尺寸图
VPC-1100
蒸发电源 SEREM
真空槽内部构成
基本构成
※我们将根据您的研发目的进行定制。
| [1] | 器皿 |
| [2] | 过滤器 |
| [3] | 服务端口（L） |
| [4] | 服务端口（S） |
| [5] | ゲージ端口 |
| [6] | ハーメチック端口 |
| [7] | シャッター |
| [8] | 电极コモン |
| [9] | 电极 １ |
| [10] | 电极 ２ |
| [11] | 电极 ３ |
