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平台
NCH 系列
NCH系列
アルバック
NCH系列是机械手、core chamber和load lock室等结合的真空搬运平台。
特点
- 连接端口可以从4个（正方形）到最大8个（八边形）中选择。
- 标准配有25段的load lock室
- 有各种选择，如排气系统和真空计。
用途
- 半导体设备的自动晶片搬送
- 各种真空实验设备的基板搬送
规格
| 晶片尺寸 | 最大300mm |
| 连接端口数 | 4 to 8 |
| 搭载机器人 | ELEC (COVOT) |
| 互锁 | 25段盒升降式 |
| 排气系 /真空计 | 选购配件 |
