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基于作为真空设备制造商积累的丰富技术，爱发科（ULVAC）的真空搬运机器人提供清洁且高可靠性的真空搬运性能。

我们提供适配各种真空设备的广泛产品线，包括根据设备规格提供的多种机械臂类型，如手臂数量、旋转半径和行程等。通过采用高刚性机械臂和高可靠性的执行器，实现了稳定的搬运操作。此外，还有机型能够支持高达 10⁻⁶ Pa 的高真空环境。

COVOT系列

爱发科（ULVAC）真空传送机器人COVOT系列能够高效传送多个晶圆，实现高吞吐量。此外，该系列配备了传送过程中的自动校正功能，具有高可靠性的性能，是一款值得信赖的真空传送机器人。

COVOT系列

这是一款清洁型多功能真空搬运机器人，融合了 ULVAC 作为真空设备制造商培养的技术。

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爱发科（ULVAC）真空传送机器人ELEC-RZ系列采用磁性流体密封，可在10⁻⁶ Pa以下的压力环境中使用。此外，通过小型化的执行器设计，实现了紧凑的结构。该系列提供丰富的机械臂选项，具备卓越的通用性和高可靠性，是一款值得信赖的真空传送机器人。

ELEC-RZ

ELEC-RZ 是一款基于 COVOT 系列出色的功能和性能的小型、低成本的高真空兼容搬运机器人。

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