真空传输机器人
COVOT系列
真空传输机器人
COVOT系列の導入・購入・検討について
爱发科（ULVAC）真空传送机器人COVOT系列能够高效传送多个晶圆，实现高吞吐量。此外，该系列配备了传送过程中的自动校正功能，具有高可靠性的性能，是一款值得信赖的真空传送机器人。