真空传输机器人
COVOT系列

真空传输机器人
COVOT系列の導入・購入・検討について
爱发科(ULVAC)真空传送机器人COVOT系列能够高效传送多个晶圆,实现高吞吐量。此外,该系列配备了传送过程中的自动校正功能,具有高可靠性的性能,是一款值得信赖的真空传送机器人。

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COVOT系列の導入・購入・検討について
爱发科(ULVAC)真空传送机器人COVOT系列能够高效传送多个晶圆,实现高吞吐量。此外,该系列配备了传送过程中的自动校正功能,具有高可靠性的性能,是一款值得信赖的真空传送机器人。
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