可搬运多片晶圆的高吞吐量真空传送机器人
真空传输机器人
COVOT系列
COVOT系列
ULVAC
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关于COVOT系列的介绍、购买、商讨
这是一款清洁型多功能真空搬运机器人，融合了 ULVAC 作为真空设备制造商培养的技术。
特点
- 有多种臂可供选择，以适应行程、转弯半径、传输板的数量等。
- COVOT-CR4 由于其磁流体密封，可在 10-6 Pa 的高真空中使用。
规格
| 型 | COVOT-6-X5 | COVOT-CR4 | |
| 工作压力区域 | 气压～10-1Pa | 气压～10-6Pa | |
| 晶圆尺寸 | 300mm | 300mm | |
| 持有的晶圆数量 | 4枚 | 2枚 | |
| 最大范围 * | 880mm | 1050mm | |
| 旋转角度 | 360° 无穷 | ±180° | |
| 提升行程 | 110mm | 120mm | |
| 最小旋转直径 * | 980mm | 960mm | |
| 有效载荷能力（包括手） | 1kg | 1kg | |
| 操作速度 | 伸缩式 | Max 1.5sec / 全行程 | Max 1.5sec / 全行程 |
| 把 | Max 2.0sec / 180° | Max 2.0sec / 180° | |
| 提升 | Max 1.5sec / 20mm | Max 3.5sec / 105mm | |
| 可重复位置精度 | 伸缩式 | ±0.1mm | ±0.1mm |
| 把 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| 提升 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| 示教器 | 归属感 | 归属感 | |
| 控制器 | 分开 | 分开 | |
*取决于安装臂和手。
