可搬运多片晶圆的高吞吐量真空传送机器人

真空传输机器人
COVOT系列 Model:COVOT

ULVAC

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这是一款清洁型多功能真空搬运机器人，融合了 ULVAC 作为真空设备制造商培养的技术。

COVOT-6-X5
COVOT-CR4

特点

有多种臂可供选择，以适应行程、转弯半径、传输板的数量等。
COVOT-CR4 由于其磁流体密封，可在 10-6 Pa 的高真空中使用。

规格

型		COVOT-6-X5	COVOT-CR4
工作压力区域		气压～10-1Pa	气压～10-6Pa
晶圆尺寸		200mm/300mm	200mm/300mm
持有的晶圆数量		4枚	2枚
最大范围 *		880mm	1050mm
旋转角度		360° 无穷	±180°
提升行程		110mm	120mm
最小旋转直径 *		980mm	960mm
有效载荷能力（包括手）		1kg	1kg
操作速度	伸缩式	Max 1.5sec / 全行程	最大限度　1.5sec/780mm
	把	Max 2.0sec / 180°	Max 2.0sec / 180°
	提升	Max 1.5sec / 20mm	Max 3.5sec / 105mm
可重复位置精度	伸缩式	±0.1mm	±0.1mm
	把	±0.1mm	±0.1mm
	提升	±0.1mm	±0.1mm
示教器		归属感	归属感
控制器		分开	分开

*取决于安装臂和手。

可搬运多片晶圆的高吞吐量真空传送机器人

COVOT系列

Model:COVOT

ULVAC

这是一款清洁型多功能真空搬运机器人，融合了 ULVAC 作为真空设备制造商培养的技术。

COVOT-6-X5
COVOT-CR4

特点

有多种臂可供选择，以适应行程、转弯半径、传输板的数量等。
COVOT-CR4 由于其磁流体密封，可在 10-6 Pa 的高真空中使用。

规格

型		COVOT-6-X5	COVOT-CR4
工作压力区域		气压～10-1Pa	气压～10-6Pa
晶圆尺寸		200mm/300mm	200mm/300mm
持有的晶圆数量		4枚	2枚
最大范围 *		880mm	1050mm
旋转角度		360° 无穷	±180°
提升行程		110mm	120mm
最小旋转直径 *		980mm	960mm
有效载荷能力（包括手）		1kg	1kg
操作速度	伸缩式	Max 1.5sec / 全行程	最大限度　1.5sec/780mm
	把	Max 2.0sec / 180°	Max 2.0sec / 180°
	提升	Max 1.5sec / 20mm	Max 3.5sec / 105mm
可重复位置精度	伸缩式	±0.1mm	±0.1mm
	把	±0.1mm	±0.1mm
	提升	±0.1mm	±0.1mm
示教器		归属感	归属感
控制器		分开	分开

*取决于安装臂和手。