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真空搬送机器人
ELEC/COVOT 系列
COVOT-6
ULVAC
COVOT-6具有4个独立的机械臂、是能够实现高产量的真空搬送机械手。
特点
- 配备四个独立手臂，可以同时更换两个基板。
- 有一个7轴的致动器，4个手臂中的任意一个都可以teaching。
- 标准配有AWS功能（基板位置自动校正功能）。
- 可对应于10-1Pa的中等真空。
用途
- 半导体设备的自动晶片搬送
- 各种真空实验设备的基板搬送
规格
| Pressure range | to 10-1Pa | |
| Wafer size | 300mm | |
| Number of wafer | 4 | |
| Maximum distance * | 880mm | |
| Rotation | 360° Endless | |
| Z-axis stroke | 90mm | |
| Minimum rotation diameter * | 980mm | |
| Weight capacity (hand is included) | 1kg | |
| Speed | R | Max 1.5sec / full stroke |
| Θ | Max 2.0sec / 180° | |
| Z | Max 1.5sec / 20mm | |
| Position Accuracy | R | ±0.2mm |
| Θ | ±0.2mm | |
| Z | ±0.2mm | |
| Teaching pendant | Attached | |
| Controller | Separation type | |
*Changes by the arm and hand.
