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真空搬送机器人

ELEC/COVOT 系列

COVOT-6

アルバック

COVOT-6具有4个独立的机械臂、是能够实现高产量的真空搬送机械手。

特点

  • 配备四个独立手臂,可以同时更换两个基板。
  • 有一个7轴的致动器,4个手臂中的任意一个都可以teaching。
  • 标准配有AWS功能(基板位置自动校正功能)。
  • 可对应于10-1Pa的中等真空。

用途

  • 半导体设备的自动晶片搬送
  • 各种真空实验设备的基板搬送

规格

Pressure range to 10-1Pa
Wafer size 300mm
Number of wafer 4
Maximum distance * 880mm
Rotation 360° Endless
Z-axis stroke 90mm
Minimum rotation diameter * 980mm
Weight capacity (hand is included) 1kg
Speed R Max 1.5sec / full stroke
Θ Max 2.0sec / 180°
Z Max 1.5sec / 20mm
Position Accuracy R ±0.2mm
Θ ±0.2mm
Z ±0.2mm
Teaching pendant Attached
Controller Separation type

*Changes by the arm and hand.

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可选部件・消耗品

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